ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ АВТОМАТ Советский патент 1968 года по МПК B24B7/06 

,1

Известны полировальные автоматы для обработки твердых материалов, например, полупроводников, содержащие полировочные диски, штоки с вакуумными присосками, транспортирующие заготовки в процессе полирования, вакуумные клапаны и питатель для поштучной выдачи заготовок. Однако в автоматах такого типа на полируемой поверхности образуются мельчайшие диски-волосовины. Кроме того, при развакуумировании полости штоков, например, в процессе полирования, торцы штоков касаются полировочных дисков, что приводит к износу торцов и засорению вакуумных присосов.

Описываемый автомат отличается тем, что вакуумные присоски выполнены вращающимися на штоках и снабжены шестерней, входящей во время полирования в зацепление с коронной щестерней. Это повышает качество полирования и устраняет микрориски. Кроме того, с целью предотвращения касания торца вакуумной присоски с полировальными дисками в случае выпадения заготовки в процессе полирования, штоки снабжены профильной канавкой, взаимодействующей с защелкой вакуумного клапана.

Заготовки помещают в кассету /, из которой их поштучно подает механизм 2. При совмещении оси заготовки, находящейся на рабочей позиции механизма 2 со штоком 3 через вакуумно-распределительное устройство 4 и соответствующий клапан 5 в присоске 6 создается разряжение. Заготовка присасывается к присоске 6, покрытой тонкой твердой резиной 7. При вращении ротора 8 шток 3, ролик 9 которого находится на копире 10, опускается и щестерня 11 вакуумной присоски 6 входит в зацепление с коронной щестерней 12. Обкатываясь по ней, вакуумная присоска 6 начинает вращаться.

Таким образом, заготовка в процессе полирования, кроме поступательного движения относительно вращающихся полировальных дисков 13, вращается и относительно своей оси. Шток 3 в верхней части имеет профильную

канавку. В случае выпадения диска во время полирования полость вакуумной присоски 6 соединяется с атмосферой. Пружина 14 выдвигает клапан 5, защелка 15 попадает в профильную канавку и удерживает щток 3 от

опускания на диски 13.

Предмет изобретения

с вакуумными присосками, транспортирующие заготовки в процессе полирования, вакуумные клапаны и питатель для поштучной выдачи заготовок, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемой поверхности, вакуумные присоски снабжены шестерней, входящей во время полирования в зацепление с коронной шестерней.

2. Автомат по пункту 1, отличающийся тем, что, с целью предотвращения касания торцов вакуумных присосок с полировальными дисками при развакуумировании на щтоках вакуумных присосок нарезаны профильные канавки, взаимодействующие с защелками вакуумных клапанов, отключающих щтоки от осевого перемещения.

Фиг.2