Известны способы измерения толщины пленки в процессе ее нанесения. Они заключаются в том, что ультразвуковые колебания вводят в подложку, на которую наносится пленка, и затем их регистрируют.
Предлагаемый способ отличается от известных тем, что в подложку вводят упругие поверхностные колебания, ло затуханию которых судят о толщине наносимой пленки. Этот способ упрощает процесс измерения.
На чертеже изображена блок-схема, поясняющая описываемый способ.
С геператора высокой частоты / электрические колебания подаются па устройства 2 для возбуждения поверхностных волн. Поверхностные упругие колебания распространяются по двум -подложкам 3 и 4: подложка 3 находится
В вакууме и на нее осаждается пленка, а подложка 4 выполняет роль линии задержки и аттенюатора. Затухание этих колебаний, по которым судят о толщине наносимой пленки, регистрируется индикатором 5.
Предмет изобретения
Способ измерепия толщины пленки в процессе ее нанесения, заключающийся во введении ультразвуковых колебаний в подложку, на которую наносится 1пленка, и последующей их регистрации, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса измерения, в подложку вводят упругие поверхностные колебания, по затуханию которых судят о толщине наносимой пленки.
2 3
LJ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Ультразвуковой способ измерения толщины пленки | 1975 |
|
SU538223A1 |
| Ультразвуковой способ измерения толщины пленки | 1988 |
|
SU1605142A1 |
| Способ определения механической структуры изделий | 1976 |
|
SU605170A1 |
| Способ измерения толщины покрытий | 1990 |
|
SU1730536A1 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ВЯЗКОЙ ФОТОЭМУЛЬСИИ | 1996 |
|
RU2168196C2 |
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ МИНЕРАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ ИЗ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ | 2005 |
|
RU2303650C1 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ЖИДКОЙ МАССЫ НА ПОДЛОЖКУ | 1995 |
|
RU2104579C1 |
| СПОСОБ НАНОИМПРИНТ-ЛИТОГРАФИИ | 2008 |
|
RU2384871C1 |
| Преобразователь влажности газов | 1981 |
|
SU1065755A1 |
| Способ контроля качества адгезии покрытий к подложкам | 1984 |
|
SU1229655A1 |
