Ультразвуковой способ измерения толщины пленки Советский патент 1990 года по МПК G01B17/02 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения тол- 1|(ийы пленок в процессе их нанесения.

Целью изобретения является повышение точности измерения за счет исключения погрешности, вызванной не илентичностью элементов.

На чертеже приведена блок-схема устройства, реализующего ультразвуковой способ измерения толщины пленки.

Устройство Содержит подложку 1, на которую наносится контролируемая пленка, излучатель 2, приемники 3 и 4, размещенные по разные стороны излучателя, усилитбль 5, генератор 6 и регистрирующий блок 7.

Способ заключается в следующем.

На подложку 1 наносят три одинаковых преобразователя упругих поверхностных волн, на один из которых {излучатель 2) подают исходный сигнал от генератора 6, а вТорой (при- емник 3) принимает этот сигнал, который передают через усилитель 5 в противофазе обратно на излучатель 2 для наложения на исходные колебания с целью получения нулевого результи- руюидего колебания в подложке 1 (до нанесения пленки). В пространстве I между излучателем 2 и приемником 3 наносят пленку, что приводит к рассогласованию колебаний и на приемник 4 появляется сигнал, регистрируемый

блоком 7/ который можно проградуиро- вать по толщине наносимой пленки.

С течением времени сигнал увеличивается в соответствии с ростом пленки, что позволяет контролировать толщину пленки во время ее роста.

Описанный способ позволяет повысить чувствительность и точность измерения толщины пленок в процессе изготовления, так как не требует геометрически идентичных и расположенных на определенном расстоянии двух излучателей.

Формула изобретения

Ультразвуковой способ измерения Толщины пленки, заключающийся в том, что в подложке, на которую наносится пленка, с помощью подключенного к генератору излучателя возбуждают упругие поверхностные колебания, принимают посредством приемника колебания, прошедшие подложку, суммируют сигналы и по величине результирующего сигнала судят о толщине пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения сигналы суммируют на излучателе, в качестве суммирующих сигналов используют сигнал с генератора и проинвер- тированный по фазе сигнал приемника, а величину результирующего сигнала определяют по сигналу, принимаемому вторым приемником, размещенны с противоположной стороны излучателя

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок в процессе их изготовления. Целью изобретения является повышение точности измерения за счет исключения погрешности, вызванной неидентичностью элементов. Для этого до нанесения пленки колебания, принятые первым приемником 3, через усилитель 5 направляют обратно на излучатель 2 в противофазе и получают нулевое результирующее колебание. О толщине растущей пленки судят по величине сигнала, возникающего в результате рассогласования колебаний с ростом пленки, принимаемого вторым приемником. 1 ил.