СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СТРУКТУРЫ Советский патент 1967 года по МПК C23C18/06 C23F1/02 B32B7/00 

Известный способ изготовления многослойной тонкопленочной структуры, состоящей из чередующихся токопроводящих слоев и разделяющих их слоев диэлектрика, заключается в последовательном нанесении указанных елоев и удалении контактных мостиков, образующихся между соседними токонроводящими слоями на дефектных участках диэлектрического слоя, например, выжиганием электрическим током. Однако, контактные мостики могут образоваться в многослойной пленочной структуре не то.тько в процессе нанесения слоев, но и в процессе работы вследствие диффузии материала проводящего слоя.

Описываемый способ изготовления многослойной тонкопленочной структуры отличается от известных тем, что на каждый токопроводящий слой наносят диэлектрический слой, имеющий толщину, несколько меньшую расчетной, обрабатывают этот слой травителем, растворяющим материал токопроводящего слоя, но не воздействующим на материал диэлектрического слоя, доводят толщину диэлектрического слоя до расчетной, наносят второй токопроводящий слой и выжигают контактные мостики электрическим током. Это позволяет значительно увеличить срок службы пленочных структур и их надежность в работе.

водящего слоя, его толщины и качества диэлектрического покрытия. После травления структуру тщательно промывают. Если диэлектрические слои наносят на внутренний токопроводящий слой с обеих сторон, то участок токопроводящего слоя вытравливают одновременно через дефектные области обоих диэлектрических слоев.

Предмет изобретения

Способ изготовления многослойной тонкопленочиой структуры, состоящей из чередующихся токоироводящих слоев и разделяющих их слоев диэлектрика, основанный на последовательном нанесении указанных слоев и удалении коитактных мостиков, образующихся между соседними токопроводящими слоями на дефектных участках диэлектрического слоя, например, выжиганием указанных мостиков электрическим током, отличающийся тем, что, с целью улучшения параметров структуры, на каждый токоироводящий слой наносят диэлектрический слой, имеющий толщину, несколько меньшую расчетной, обрабатывают этот слой травителем, растворяющим материал токопроводящего слоя, но не воздействующим на материал диэлектрического слоя, доводят толщину диэлектрического слоя до расчетной, наносят второй токопрозодящий с;10Й и производят выжигание контактных мостиков электрическим током.