Известно устройство для изготовления элементов печатных схем, например катушек индуктивностей, содержащее вакуумную камеру, снабженную автом.атически загружающимися испарителями « дисковым транспортером, служащим для размещения масок и подложек.
Предлагаемое устройство отличается тем, что изготовлены из магнитной проволоки прямоугольного сечения, а в качестве фиксаторов масок использованы укрепленные на нижней поверхности дискового транспортера Постоянные магниты. Это позволяет упростить процесс изготовления катущек индуктивностей.
На фиг. 1 изображена схема предлагаемого устройства; на фиг. 2-спиральная маска и катушка индуктивности, изготовленная с помощью этой маски.
Устройство содержит стандартную вакуумную камеру (на чертеже не показана), снабженную автоматически загружающимися испарителями / и дисковым транспортером 2, на котором размещены маски и подложки. Транспортер представляет собой диск, который вращается на упорном подщипнике 5 и приводится в движение электродвигателем 4. На нижней поверхности транспортера укреплены фиксаторы масок, представляющие собой постоянные магниты 5 прямоугольной
формы. Под магнитами расположены подогреватели подложек из нихромовой проволоки, заключенной в керамические трубки 6.
На транспортере жестко закреплены полки 7, несущие навеску 8 испаряемого вещества. В момент прохождения полки с навеской над испарителем расположенный рядом с ним упор 9 сбрасывает навеску в испаритель. Испаритель заключен в экран 10, охлаждаемый водой, протекающей по змеевику 11.
Применяемые маски 12 изготовлены из магнитной проволоки прямоугольного сечения, свернутой в плоскую спираль. Геометрические размеры определяют размеры катушки индуктивности и ее параметры.
Транспортер продолжает вращаться до тех пор, пока полка не выйдет из зоны действия испарителя, а подложка 13 с маской не окажется точно над испарителем. После этого двигатель отключается и происходит испарение сброщенной навески и напыление металла на маску. В реззльтате напыления образуется плоская спиральная катушка индуктивности 14.
Предмет изобретения
транспортером, служащим для размещения масок и подложек, отличающееся тем, что, с целью упрощения процесса изготовления катушек индуктивностей, маски изготовлены из
магнитной проволоки прямоугольного сечения, а в качестве фиксаторов масок использованы укрепленные на нижней поверхности дискового транспортера постоянные магниты.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| УСТРОЙСТВО для ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ СХЕМ | 1966 |
|
SU177491A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАТУШЕК ИНДУКТИВНОСТИ | 1966 |
|
SU177472A1 |
| АВТОМАТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ | 1967 |
|
SU191661A1 |
| УСТРОЙСТВО для НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ МИКРОСХЕМ | 1970 |
|
SU259209A1 |
| Устройство для формирования конфигурации пленок, напыляемых в вакууме | 2022 |
|
RU2787908C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОУРОВНЕВЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МИКРОСХЕМ | 2011 |
|
RU2474004C1 |
| Способ изготовления магниторезистивного датчика | 2017 |
|
RU2659877C1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ В ВАКУУМЕ | 2014 |
|
RU2572658C2 |
| Индуктивный элемент | 1983 |
|
SU1100646A1 |
| Способ нанесения покрытий в вакууме | 2017 |
|
RU2654991C1 |
2 5
/- /JL
.-,-.
л1.а
II у J
/2
L HJLJLJL
н н н я-1
