УСТРОЙСТВО для ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ СХЕМ Советский патент 1966 года по МПК C23C14/50 

Известны устройства для изготовления пленочных схем, содержащие вакуумную камеру, снабженную испарителями наноснмых на нодложку материалов, подвижные кассеты, служащие для крепления подложек и масок, натреватель подложек и введенный в вакуумную камеру микроскоп. Эти устройства не обеспечивают требуемого качества изготавливаемых пленочных схем.

Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что кассеты установлены на двух призмах, размещенных параллельно одна другой, кассеты для подложек выполнены в виде профильной пластины, имеющей вырезы и снабженной плоскими иружинами, служащими для фиксации иоложення подложек, и контрольными отметками для определения положения подложек отпосительно масок, кассета для масок снабжена упругими зажимами для крепления вдоль одного из их торцов масок, выполненных из упругого материала и снабженных контрольными отметками. Под масками установлена прижимная поднружиненпая рамка и поворотный вал с двумя плоскими нружинами, опирающимися на рамку,

Эта особенность иовьниает точность работы устройства и улуч1пает качество изготавливаемых схем.

сти; на фиг. 2 - кассета для подложек; на фиг. 3 - кассета для масок; на фиг, 4 - поднружипепная рамка с поворотным валом.

Цилиндрическая вакуумная камера / снабжена патрубком 2 для нрисоедннения ее к диффузионному насосу 3, смотровым люком 4 с микроскопом 5, полками 6, по которым в камеру / вдвигают и закрепляют коробчатый каркас 7, иесущий размещенные параллельно одна другой наиравляюни1е нризмы 8 и 9. По нанравляюииш призмам 8 п 9 при помощи ходовых винтов Юн 1 могут перемещаться каретки 12 и 13. На каретке 12 закреплена легкосъемиая кассета 14 с масками 15, а иа каретке 13 - легкосъемная кассета 16 с подложками 17. Кассета 14 для масок 15 снабжена упругими зажимами 18 для кренления винтамн 19 краев масок 15, которые нмеют контрольные отметки 20.

Кассета 6 с нодложками /7 выполнена в виде нрофнльиой пластины 21 с вырезами 22 но форме иодложек, п.1оским11 пружинами 23, служащими для фиксации положеиия подложек, и контрольными отметками 24 для определения положения подлол ек относительно масок 15

Над кассетой 16 расиолоя ен регулируемый нагреватель 25 для подогрева иодложек 17, а в нижней части - испаритель 26 нанос1 мых на подложку материалов.

Под масками 15 на каркасе 7 закреплен патрубок 27, служащий для ограничения молекулярных пучков, постунаюникх из испарнтеля 26. На верхнем обрезе натрубка 27 нод масками 15 установлена прижимная подпружиненная рамка 28, связанная указанными пружинами с каркасом 7, и поворотный вал 29 с двумя плоскими пружинами 30, опирающимися на рамку 28.

При повороте вала 29 нротив часовой стрелки 30 приподнимут рамку 28, которая при этом плотно ирижмет находящуюся над ней маску 15 к нижней поверхности кассеты 16 и нодложки 17. Совмещение контрольной отметки 20 одной из масок 15 с контрольной отметкой 24 соответствующей подложки 17 производится с высокой точностью с помощью микроскона 5 носредством перемещения кареток 12 и 13 ходовыми винтами 10 и 11.

Предмет изобретения

Устройство для изготовления пленочных схем, содержащее ва суумную камеру, снабженную испарителями наносимых на подложку материалов, подвижные кассеты, служащие для креплеиия подложек и масок, нагреватель подложек и введенный в вакуумную камеру микроскоп, отличающееся тем, что, с целью повышения точности работы устройства и улучшения качества изготавливаемых схем, кассеты устаиовлеиы на двух призмах, размещенных параллельно одна другой, кассеты для подложек вьшолнены в виде профильной пластины, снабл енной вырезами и нлоскими пружинами, служандими для фиксации положения подложек, и контрольными отметками для онределения иоложения подложек относительно масок, кассета для масок снабжена упругими зажимами для креплення вдоль одного из их торцов масок, выполненных из упругого материала и сиаб женных контрольными отметками, а нод масками установлена прижимная поднружиненная рамка и поворотный вал с двумя плоскими пружинами, опирающимися на рамку

г

27

u.-ii

u2

22

21