АВТОМАТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ Советский патент 1967 года по МПК C23C14/24 

Известиые автоматические устройства для напыления пленок на диэлектрические подложки, содержащие вакуумную камеру, в которой размещены испарители, установленный под испарителями транспортирующий механизм с укрепленными на нем подложками и наложенными на них -масками, бункер с напыляемым материалом и дозатором и оптическую систему, нредиазначенную для точного совмещения подложек с масками, не позволяют вести процесс напыления без перезарядки камеры, а также характеризуются малым коэффициентом заполнения вакуумной камеры.

В предложенном устройстве повышение коэффициента заполнения вакуумной камеры и увеличение числа напыляемых -подложек без перезарядки камеры достигнуто тем, что камера устройства выполнена в виде прямолинейпой трубы, В которой установлены выдвижная рама с размещенными вдоль «ее испарителями и масками, каретка, расположенная над рамой на вертикально перемещающихся направляющих, снабжениая окном для очистки подложек тлеющим разрядом п окном для иапылеиия пленок на подложки, и бункер для подачи нодложек к окна-м.

На фиг. 1 схематически изображено онпсываемое устрой|ство; на фиг. 2 - выдвижная рама и бункер.

движная рама 2 с размещенными вдоль «ее испарителями (на чертеже не .показаны) и масками 3. Выдвижная рама 2 состоит из рамки 4 подложек и рамки 5 масок, тщательно совмещаемых друг с другом перед процессом напыления. В прямолинейной трубе установлена каретка 6, расположенная «ад выдвижной рамой 2 на вертикально перемещающихся направляющих 7. Горизонтальное перемещение каретки 6 осуществляется вращением ходового впнта 8 посредством направляющих 9. Каретка 6 снабжена окном 10 для очистки подложек 11 тлеющим разрядом и окном 12 для напыления пленок на подложки //. Подложки подаются к окнам 10 и 12 из бункера 13. При номощи кулачка 14 каретка 6 устанавливается на высоте в четырех положениях, при которых подложка в окне 12 напыления может совмещаться е маской 5. Каретка 6 может двигаться поступательно над масками 5 и проходить под бункерами 13 подложек. Когда окна 10 и 12 подходят под бункеры 13, производится либо их загрузка подложками, либо выдача их из бункеров при помощи рычагов каретки (на чертеже не показаны), управляющих рычагами дозаторов бункеров 13.

Таким образом, каретка 6, перемещаясь в вертикальном «ли горизонтальном направлениях, захватывает поштучно из бункера 13 подложки и перемещает их в зону тлеющего

разряда. Подложки поступают в приелшый бункер (на чертеже не показан).

Аналогично каретка 6 подводит поштучно подложки в зону напыления, после чего ош поступают В бункер 13, накапливаясь в нем. По окончании процесса напыления производится выгрузка и загрузка бункеров.

Устройство позволяет производить папылеиие 60 и более иодложек за один вакуумный пикл.

Предмет изобретен я я

Автоматическое устройство для напыления пленок на диэлектрические подложки, содержащее вакуумную камеру, внутри которой размещены испарители, установленный под испарителями транспортирующий механизм с

укрепленными на ием подложками и .иаложенными на них масками, бункер с напыляемым материалом и дозаторам и оптическую систему, предназначенную для точного совмещения подложек с масками, отличающееся тем, что, с целью повьпнения коэффициента заполнения вакуумной 1камеры и увеличения числа напыляемых подложек без перезарядки камеры, она выполнена в виде прямолинейной трубы, внутри которой установлены выдвижная рама с размещенными вдоль нее испарителями и масками, каретка, расположенная над рамой на вертикально пере.мещающихся направляющих, снабженная окном для очистки подложек тлеющн.м разрядом и окном для напыления нленок на подложки, и бункер для подачи нодложек к окнам.