Устройство предназначено для использования в электронной промышленности.
Известные устройства совмещения рисунка подложки с фотошаблонами, содержащие механизм крепления подложки, механизмы подачи фотошаблонов, координатный столик и оптическое устройство, не обеспечивают двустороннего совмещения фотошаблонов с рисунком на непрозрачной подложке.
Предлагаемое устройство обеспечивает двустороннее совмещение рисунка на непрозрачной подложке с рисунками предварительно совмещенных фотошаблонов относительно друг друга посредством оптического устройства.
Достигается это тем, что в предлагаемом устройстве механизм подачи верхнего фотошаблона выполнен в виде поворотной консольной головки, установленной на подвижном ползуне вертикальных направляющих, механизм подачи нижнего фотошаблона выполнен в виде подвижного полого цилиндра, установленного в направляющей вертикальной обойме, а механизм зажима подложки выполнен в виде плоских захватов, удерживающих, ее по периметру, и закрепленных на координатном столике.
Такая конструкция механизмов подачи фотошаблонов обеспечивает поочередное выставление фотошаблонов относительно сетки - шкалы оптического устройства и введение механизма зажимов с подложкой в зону совмещения.
На фиг. 1 представлена принципиальная схема предложенного устройства; на фиг. 2 - то же, вид сверху.
В устройстве механизм подачи верхнего фотошаблона смонтирован на вертикальной стойке 1 и состоит из поворотной консольной головки 2 с фотошаблоном 3, ползуна 4, перемещаемого в вертикальном направлении рычагом 5 от ходового винта 6. Головку 2 можно поворачивать вокруг оси 7 до упоров 8 и 9 и фиксировать в этих положениях пружиной 10.
Нижний фотошаблон 11 с проходящим внутри световым потоком размещен на верхнем торце цилиндра 12.
Перемещение цилиндра 12 с фотошаблоном в направляющей обойме 13 осуществляют посредством кольцевого кулачка 14, воздействующего на штыри 15, закрепленные на подвижном цилиндре. Механизм крепления подложки 16 выполнен в виде плоских захватов 17 и 18, укрепленных на осях 19 пружинами 20.
Устройство работает следующим образом.
С помощью механизма подачи верхнего фотошаблона производят совмещение визирных меток фотошаблона 3 с сеткой-шкалой оптического устройства 21. Фотошаблон закрепляют рамкой 22 с помощью винта 23. Головку 2 фотошаблоном 3 поднимают ходовым винтом 6, отводят в сторону до упора 9 и удерживают в этом направлении пружиной 10.
С помощью механизма подачи нижнего фотошаблона производят совмещение визирных меток фотошаблона 11 с сеткой-шкалой оптического устройства, после чего фотошаблон, размещенный на верхнем торце полого цилиндра 12, закрепляют рамкой 24.
Полый подвижный цилиндр 12 с фотошаблоном 11 опускают в направляющую обойму 13 кольцевым кулачком 14. С помощью механизма зажимов непрозрачную подложку 16 с рисунком закрепляют в плоских захватах 17 и 18, удерживающих подложку по периметру, и затем вводят в зону совмещения под объектив оптического устройства поворотом вокруг оси 25 координатного столика 26. После этого производят совмещение визирных меток на рисунке подложки с сеткой-шкалой оптического устройства перемещением механизма зажимов с подложкой микрометрическими витками координатного столика.
Устройство совмещения рисунка подложки с фотошаблонами, содержащее механизм крепления подложки, механизмы подачи фотошаблонов, координатный столик и оптическое устройство, отличающееся тем, что, с целью двустороннего совмещения рисунка на непрозрачной подложке с рисунками предварительно совмещенных фотошаблонов, в нем механизм подачи верхнего фотошаблона выполнен в виде поворотной консольной головки, установленной на подвижном ползуне в вертикальных направляющих, механизм подачи нижнего фотошаблона выполнен в виде подвижного полого цилиндра, установленного в направляющей вертикальной обойме, а механизм зажима подложки выполнен в виде плоских захватов, удерживающих ее по периметру и закрепленных на координатном столике.
