Откачка вакуумных приборов в зависимости от масштабов производства осуществляется на индивидуальных откачных постах, полуавтоматах или на высокопроизводительных карусельных откачных машинах.
Работа на вакуумной системе с применением магниторазрядного насоса производится следующим образом.
Магниторазрядный насос обезгаживают прогревом до 400-450°С на какой-либо безмасляной вакуумной системе в течение 6-8 час. После этого изделие с помощью медного штенгеля соединяют на воздухе с откачным гнездом высоковакуумного насоса. Предварительную откачку прибора и насоса до давления 1·10-1-5·10-2 мм рт. ст. производят через боковой штенгель с помощью адсорбционного угольного или цеолитового насоса или с помощью механического вакуумного насоса, оснащенного ионной или азотной ловушкой.
После предварительной откачки механическим пережимом осуществляют холодную сварку (отрезку) бокового штенгеля.
Дальнейшая откачка прибора во время проведения всего технологического процесса производится магниторазрядный насосом. При этом контроль давления в вакуумной системе ведут по разрядному току, имеющему линейную зависимость от давления.
На чертеже показано устройство для осуществления предлагаемого способа.
Предлагаемый способ предварительной откачки изделия, собранного с магниторазрядный насосом с охлаждаемым анодом, состоит в том, что изделие сочленяется с насосом с некоторым зазором, через который осуществляется откачка полостей изделия и насоса до давления запуска, например до 1·10-1-5·10-2 мм рт. ст. Затем этот зазор выбирается и изделие вакуумноплотно соединяется с насосом. Дальнейшая откачка прибора во время обезгаживания осуществляется магниторазрядный насосом.
Для осуществления предлагаемого способа предварительной откачки изделия с магниторазрядный насосом применяется устройство в виде герметичной камеры 1, которая снабжена откидным колпаком 2 для загрузки изделия и узлом 3 герметизации изделия с откачным; гнездом. В нем необходимое для уплотнения усилие обеспечивается муфтой 4 предельного момента.
После уплотнения изделие с насосом извлекают из камеры, устанавливают на плиту поста и накрывают печью. Дальнейшую откачку изделия во время прогрева ведут магниторазрядным насосом.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ ОТКАЧКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХПРИБОРОВ | 1971 |
|
SU321871A1 |
| СПОСОБ ЗАПОЛНЕНИЯ УСКОРИТЕЛЬНОЙ НЕЙТРОННОЙ ТРУБКИ РАБОЧИМ ГАЗОМ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1990 |
|
RU2044419C1 |
| СПОСОБ РЕСТАВРАЦИИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ СВЧ-ПРИБОРОВ БОЛЬШОЙ МОЩНОСТИ | 2003 |
|
RU2244979C1 |
| ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ПОСТ ДЛЯ ОТКАЧКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ | 2012 |
|
RU2515937C1 |
| Вакуумный пост для изготовления электровакуумного прибора | 2021 |
|
RU2768364C1 |
| КРИОСТАТ ДЛЯ ПРИЕМНИКА ИНФРАКРАСНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ | 2011 |
|
RU2488192C2 |
| Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов | 1980 |
|
SU900343A1 |
| КАРУСЕЛЬНЫЙ ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ ВАКУУМНОЙ ОБРАБОТКИ^ И ЗАПАЙКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ И ГАЗОРАЗРЯДНЫХ | 1973 |
|
SU389566A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛАМПЫ ВЫСОКОГО ДАВЛЕНИЯ | 1992 |
|
RU2094892C1 |
| Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки | 1978 |
|
SU686102A1 |
Способ высоковакуумной откачки вакуумных приборов, состоящий из предварительной и окончательной откачки, отличающийся тем, что с целью уменьшения затрачиваемой энергии и времени достижения конечного давления в приборе, предварительную откачку прибора и высоковакуумного насоса осуществляют в герметичной камере через зазоры между штенгелем прибора и откачным гнездом высоковакуумного насоса, а после получения заданного предварительного разрежения зазоры выбирают, сочленяя герметично прибор с высоковакуумным насосом, с помощью которого производят окончательную откачку.
