Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки Советский патент 1979 года по МПК H01J9/38 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к оборудованию для откачки и герметизации электровакуумных приборов (ЭВП). Известно устройство для герметизации ЭЗП с помощью заглушки, содержащее печь обезгаживания, откачную систему, высоковакуумную камеру, герметично соединенную с обрабатываемым прибором .уплотняющим фланцем и прокладкой, нагреватель, охватывающий герметизируемый участок прибора и заглушку, и мех низм перемещения заглушки, установленШз1й внутри высоковакуумной камеры Однако известное устройство обладает следующими недостатками: при подаче уси лия герметизации на заглушку возможна разгерметизация соединения прибора с Ъьгсоковакуумной камерой, фланцевое соеаввение прибора с высоковакуумной камерой, где усилие герметизации создает ся шпильками, не позволяет механизировать процессы соединения и разъединения прибора с высоковакуумной камерой, указанное устройство не позволяют также сое- динять прибор С высоковакуумной квмврой по мягкой оболочке прибора. Известно устройство для герметизации ЗВП с помощью заглушки, содержащее печь обезгаживания, откачную систему, высоковакуумную камеру, соединенную с обрабатываемым прибором через уплотняющий фланец и прокладку, механизм перемещения заглушки, установленный внутри 1высоковакуумной камеры, нагреватель, охватывающий герметизируемый участок, прибора и упругие элементы {2J. В таком устройстве соединение прибора с высоковакуумной камерой осуществл ется уплотняющим фланцем и прокладкой, где усилие уплотнения, создаваемое шпильками, направлено навстречу усилию герметизации, подаваемому на заглушку, и поэтому из-за деформации уплотняющего материала прокладки и в результате этого ослабления шпилек в процессе обезгажиэания прибора в момент приложения усилия герметизации на заглушку возможна разгерметизация прибора с высоковакуумной камерой. Этот эффект особенно существенен при соединения прибора с вы соковакуумной камерой по мягкой оболочке прибора, где деформация уплотняющего .материала большая. .Фланцевое соединение прибора с высоковакуумной камерой не позволяет также механизироветь процессы соединения и разъединения прибора с высоковакуумной камерой. Целью данного изобретения является механизация процесса герметизации. Поставленная цель достигается тем, что устройство снабжено ползунами, схо дшцимися при движении в направляющих на штенгеле ррибора и связанных через тяги, фиксаторы, площадку и упругий элемент с выроковакуумной камерой; а механизм перемещения заглушки бвязен с ползунами через соответствующие упругий элемент, площадку и фиксаторы, взаимодействующие с упомянутыми tgra- мк, причем ползуны выполнены в виде полуфланцев, а упругие элементы выполнены Б виде тарельчатых пружин. На чертеже изображено предлагаемое устройство. Устройство состоит из двух ползунов 1, сходящихся на штенгеле или оболочке 2 приборов 3 при движении в направлйю щих 4, связанных через тяги 5, фиксато ры 6, площадку 7 и упругий элемент 8 с высоковакуумной камерой 9, механизма перемещения заглушки, включающего в себя заглушку 10 и сильфонный узел со щтокомИ, связанным с ползунами 1 че рез упругий элемент 12, площадку 13, фиксаторы 14, и тяги 5, механизма давления 15 со сменным наконечником 16, откачной системы 17, печи обезгаж -ша ния 18 и нагревателя 19, Устройство работает следующим обра зом. После установки прибора 3 на высоко вакуумную камеру 9 сводятся ползуны 1 на щтенг ле 2, после чего механизм дав ления 15 давит на площадку 7, сжимая упругий элемент 8. После создания необ ходимого усилия площадка 7 фиксируется на тягах 5 фиксаторами 6, создавая пос тоянное усилие прижатия щтенгеля 2 к в соковакуумной камере 9 за счет упругог элемента 8. Затем производится откачка и обработка прибора. Для герметизации прибора заглушка нагревается нагревателем 19 или электродной системой прибора 3 или печью обезгаживания 18, и ме ханизм давления 15 давит на площадку 13 через сменный наконечник 16, Заглушка 10 упирается в штенгель 2, и производится сжатие упругого элемента 12 до необходимого усилия, после чего площад- . ка 13 фиксируется на тягах 5 фиксаторами 14. Из схемы видно, что усилия yi ругих элементов 8 и 12 передаются по разным силовым цепочкам. Для разгружения упругих элементов 8 и 12 механизм давления 15 давит на площадки 7 и 13, вынимаются фиксаторы 6 и 14 и разжимаются упругие элементы 8 и 12, после чего разводятся ползуны 1, и прибор 3 снимается с высоковакуумной камеры 9. Применение упругого элемента для создания усилия уплотнения прибора с высоковакуумной камерой в процессе ваку- , умно-термической обработки позволяет компенсировать деформацию уплотнякмцего материала прокладки, а связь механизма перемещения заглущки с ползунами через тяги развязывает усилие герметиз&ции прибора заглушкой и усилие уплотнения прибора с высоковакуумной камерой. Тем самым исключается возможность раэгерметизации прибора с высоковакуумной камерой в процессе вакуумно-теркгачэской обработки i при подаче усилия на заглушку. Применение ползунов и упругих элементов позволяет механизировать процессы соединения- и разьединения прибора с высоковакуумной камерой и процесс его герметизации заглущкой. Описанное выще устройство исключает возможность разгерметизации прибора с высоковакуумной камерой на всем протяжении вакуумно«-термической обработки прибора и его герметизации заглушкой даже если обрабатываемый прибор соединен с высоковакуумной камерой по мягкой оболочке прибора. Устройство может быть использовано на конвейерных мащинах для откачки ЭВП с герметизацией заглушкой, что позволит механизировать процессы соединения и разъединения прибора с высоковакуумной камерой и процесс его герметизации заглущкой, увеличить производительность обс удования в 2 раза. Формула изобретения 1, Устройство для герметизации, элект ровакуумных приборов с помощью заглущки, содержащее печь обезгаживания, от качную систему, высоковакуумную камеру, соединенную с обрабатываемым прибором

через уплотняющий фланец и прокладку, механизм перемещения заглушки, установленный внутри высоковакуумной камеры, нагреватель, охватывающий герметизируемый участок прибфа и упругие элеме ты, отличающееся тем, что, с целью механизации процесса герметизации, устройство снабжено ползунами, сходящимися при движении в направляющих на щтенгеле прибора и связанных через тяги, фиксатс ы, площадку и упругий элемент с высоковакуумной камерой, а механизм перемещения заглушки связан с noj зунами через соответствующие упругий элемент, площадку и фиксаторы, взаимодействующие с упомянутыми тягами.

2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что ползуны нены в виде двух полуфланцев.

3.Устройство поп, 1, отличающееся тем, что в качестве упругих элементов использованы тарельчатые пружины.

Истрчникн информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 465674, кл. Н О1 Т 9/38, 1968.

2.AfiTqpcKoe свидетельство СССР № 472397, кл. Н 01 Т 9/38, 1973 (прототип).