УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 1968 года по МПК C23C14/55 

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру с крышкой, барабан с кассетами для изделий, откачную систему и блок электропитания. В этом устройстве крышка вакуумной камеры снабжена автоматически действующим электромагнитным затвором с приводом от программного устройства.. Предложенное устройство отличается от известного тем, что затвор крышки выполнен в виде пневмоцилиндра, шток которого соединен с приливом крышки, подключенного к форвакуумному насосу. Это сокращает рабочий цикл.

На фиг. 1 представлено описываемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - откачная система; на фиг. 3 - схема открывания и закрывания крышки вакуумной камеры.

Устройство содержит горизонтально расположенную вакуумную камеру 1, сферическую переднюю крышку 2 с двумя смотровыми окнами, испаритель 3, электрод 4 тлеющего разряда, барабан 5 с кассетами 6 и 7 для изделий, экран 8, расположенный перед всасывающим отверстием форвакуумного насоса, экран 9; форвакуумный механический насос 10, высоковакуумный насос 11, бустерный насос 12 и блок 13 электрооборудования.

После загрузки емкости деталями, подлежащими покрытию, нажимают кнопку автоматического управления системой устройства. Крышка 2, удерживаемая балкой 14 в наклонном положении, передвигается в сторону вакуумной камеры, опираясь роликами на рельс 15.

После того как крышка 2 расположится прямо против запираемой ею вакуумной камеры 1, происходит сцепление прилива 16 с выступающим штоком 17 пневматического приспособления прижима 18. В этот момент конечный выключатель (на схеме не показан) подает напряжение на включающую катушку вентиля 19 и поршень 20, двигаясь влево, притягивает крышку к камере, одновременно подавая напряжение с помощью конечного выключателя на включающую катушку вентиля 21, после чего начинается откачка камеры форвакуумным насосом. После окончания цикла испарения и впуска воздуха в камеру автоматически открывается вентиль 22. Поршень 20, передвигаясь вправо, дает возможность крышке занять под действием собственного веса положение, показанное на фиг. 3. Затем поршень включает двигатель передвижения крышки, который отводит ее в сторону.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, крышку с затвором, барабан с кассетами для изделий, откачную систему и блок электропитания, отличающееся тем, что, с целью сокращения рабочего цикла, затвор крышки выполнен в виде пневмоцилиндра, шток которого соединен с приливом крышки, подключенного к форвакуумному насосу.