СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АНТИДИНАТРОННОГО ПОКРЫТИЯ НА КЕРАМИКЕ Советский патент 1968 года по МПК H01J5/08 

Способ относится к технологии получения антидинатронного покрытия на алюмооксидной керамике, например, для подавления вторичного электронного резонансного разряда на керамических выводах энергии.

Известны способы получения антидинатронноро- покрытия на керамике нанесением тон кой пленки металла (титана, золота и др.) обычно путем распыления их в вакууме. Толщина распыленного металла должна находиться в строго определенных пределах, что технологически трудно осуществимо, особенно на изделиях сложной конфигурации. Кроме того, металлическое покрытие вызывает дополнительные омические потери и, следовательно, нежелательный дополнительный разогрев керамики.

Предлагаемый способ получения антидинатронного покрытия отличается тем, что на керамические изделия наносят порощкообразный диэлектрик, например нитрид бора, а затем проводят термообработку в защитной среде при температуре 700-ИОО С в зависимости от типа керамики.

Благодаря этому толщина покрытия может колебаться в щироких пределах, покрытие не ухудщает диэлектрических свойств керамики и, следовательно, не вызывает дополнительных потерь. Последнее обусловлено высокими

диэлектрическими свойствами самого покрУ тия - нитрида бора.

Способ осуществляют, например, следующим образом.

Порошкообразный нитрид бора обрабатывают соляной кислотой и горячей дистиллированной водой для очистки от примесей и тщательно высущивают при температуре 100°С. Очищенный и высущенный порощок нитрида

бора смещивают с биндером в мешалке. Полученную суспензию наносят на керамику пульверизацией, окунанием или намазкой в зависимости от вида покрываемых изделий. Нанесенное покрытие закрепляют путем термической обработки в защитной среде (азот, водород, формиргаз или аммиак) при температуре 700-1400°С в зависимости от вида керамики. Испытание образцов с покрытием нитрида

бора в резонаторах показало резкое снижение резонансного электронного тока.

Предмет изобретения

Способ получения антидинатронного покрытия на керамике, отличающийся тем, что, с целью снижения разогрева керамики, на ее поверхность наносят слой диэлектрика, например нитрида бора, а затем проводят термообработку в защитной среде при температуре 700-1400°С в зависимости от типа керамики.