УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАГРЕВА ПОДЛОЖЕК Советский патент 1969 года по МПК H05K3/00 

Известны устройства для нагрева подложек, содержащие нагреватель и металлическое основание. Однако они не обеспечивают постоянной и однородной температуры подложки.

Описываемое устройство отличается от известных тем, что в нем между основанием и подложкой помещен слой легкоплавко1го материала-.

Это обеспечивает постоянную однородную температуру подложки.

На чертеже изображена конструкция предлагаемого устройства.

Подложка / прикреплена уголками 2 кмассивному основанию 3, а между основанием и подложкой помещен тонкий слой легкоплавкото материала 4 (например олова или галлия). При нагревании основания материал

плавится и заполНяет микронеровности на обеих поверхностях, обеспечивая тепловой контакт по всей поверхности подложки, что при1водит к быстрому ее разогреву.

Расплавленный материал (металл) удерживается менчду подложкой и основанием силами сцепления и поверхностного натяжения.

П р е д М е т изобретения

Устройство для нагрева подложек в вакууме, содержащее на1греватель и металлическое основание, параллельно которому расположена поалож1ка, отличающееся тем, что, с щелью обеспечения постоянной и однородной температуры подложки, между основанием и подложкой помещен тонкий слой легкоплавкого материала.