УСТРОЙСТВО для КОНТРОЛЯ толщины ПЛЕНКИ в ПРОЦЕССЕ их НАНЕСЕНИЯ НА ИЗДЕЛИЕ Советский патент 1969 года по МПК G01B11/06 

Известны ycTipofiCTBa для контроля толщины пленки в процессе их нанесения на изделие, например на катод, содержащие источник света, прозрачный свидетель, эталон, фотоприемники, расположенные соответственно за свидетелем и эталоном, и исполнительный орган для нрекращения процесса нанесения пленки.

|Предла.гаемо-е устройство отличается от известных тем, что оно снабжено электронной схемой выдани .-ко-маид иополнительному о рглну, содержащей задатчи К длительности вз:мерения, сум1Мирую|ЩИ1Й блок, входы iKOTOpoiro связаны с .выходами :фото.пр1Ивмников, усилитель, вьход котОрого связан С выходом сум,мирующбгО блока, и, логическую ячейку «И, один из входов жоторой связав с усилителем, другой ,п од соединен к выходу задатчика длительности измерения, причем выход логической ячейки «И связан с исполнительным органом, а источник света выполнен в. виде имиульсной лампы с приспособлением для ее запуек а, включающим да.тчик лоложвння Овидетеля и блок задержки нач,ала измерения, связанный с этим датчиком.

Это повышает точность контроля.

На чертеже изображена cxeaia лредл агаеMOiro устройства.

|Прозра;чный свидетель 3, фотоериемники 4 и 5, р.аюположенные соответственно за свидетелем и эталоном, исполнительный орган 6 для прекращения процесса нанесения пленки

и электронную схему выдачи, команд исполннтельному органу. Эта схема содержит задатчик 7 длительности измерения, суммирующий блок 8, усилитель 9 сигналов и логич скую ячейку 10 «И. Входы суммирующего бло1ка 8

связаны с выходалги фотоприемников 4 и 5, а .выход - с усилителем 9 сигналов.. Один вход логической ячейки 10 «И соединен с выходом усилителя 9, другой-с выходом зада,тчик.а 7, а выход - с исполнительным ор.гаи ом 6.

Источни1К 1 света выполнен в виде импульсной лампы с приспособлением для ее запуска, включающим датчик // положения свидетеля и .блок 12 задержки начала измерения, связанный с этим датчико м.

Свидетель 3 и катод 13 установлены на

кассете 14, при вращении которой происходит

нанесение пленки на них пульверизатором 15.

Работает предлагаемое устройство, следующим. о.бразом.

При прохождении свидетеля 3 возле источника / света срабатывает да.тчик 11, запускающий источник света и одновременно В:Ключающий блок 12. Из источника света выходят

рых, -проходя через эталои 2, попадает на фотолриемнИК 4, а дру.гой - овидетель 3 лопадает на. фотоер-иемниК 5. В фотоприемниках 4 и 5 возбуждается два электрических импульса, кото|рЫе в противофазе подаются на суммирующий блок 8; с выхода последнего снимается разностный сшшал, например отрицательный импульс, подаваемый на вход усилителя 9. Далее усиленный импульс посту1па,ет на один из входов ялейки 10 «И. Блок 12, включенный датчиком, дает ори ЭТО.М Заранее установленную .выдерж ку времени, в течение которое разностный сигнал достигает своего 1макси,м,ального значения. По истечении выдержки В|ремени срабатывает задатчик 7, выдающи-й положительный иашульс на другОй вход ячейки 10.

По мере увеличения толщины нанасЕм.ого слоя величина, разностного имоульса, имеющая отрицательный знак, уменьщается но амплитуде и становится равной нулю прн достижении толщины лленки на катоде, равной эталонной. В этот момент ячейка W выдает сигнал исполнительному органу 6 на прекращение ланесения пленки.

Предмет изобретений

Устройство для контроля толщины пленки в процессе ее нанесения на изделие, например на катод, содержащее источник света, прозрачный свидетель, эталон, фотоприемники, расположенные соответственно за свидетелем и эталоном, и исполнительный орган для прекращения процесса нанесения пленки, отличающееся тем, что, с целью повыщения точности контроля, оно снабжено электронной схемой выдачи команд исполнительному органу, содержащей задатчик длительности измерения, суммирующий блок, входы которого связаны

с выходами фотоприемников, усилитель, вход которого связан с выходом суммирующего блока, и логическую ячейку «И, один из входов которой связан с усилителем, другой, лодсо-единен к выходу задатчвка длительности

измерения и ВЫход овяван с исполнительным органом,, а источник овета выполНвн в виде импульсной лайшы с приспособлениам для ее заеуска, вклю|Ч.а.Ю|ЩИм датчик наложения свидетеля и блок задержки начала измерения,

связанный с этим датчиком.