СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ в ПРОЦЕССЕ ЕЕ НАНЕСЕНИЯ НА ИЗДЕЛИЕ Советский патент 1969 года по МПК G01B11/06 

Известны Способы контроля толщины пленки IB процессе ее нанесения на изделие, «а пример на .катод, с использо(ванием эталона, свидетеля и электронно-измерительного, устройства, овязаппого с исполнительным органом, 3а1КлЮ|Чающиеся в TOiM, что одновременно освещают эталон и свидетель, ср авнивают величины световых потоков, прошедших через эталон и свидетель, по величине разностного сигнала судят о толщине наносимого слоя.

Предлагаемый способ отличается от известного, тем, что эталон и св.идетель освещают короткими импульсами, задерл ивают начало измерения до достижения разностным сигналом значения, близ.кого к максимальному, после чего измеряют разностный сигнал в течение времени, за которое указа.нный сигнал преооразовывается электронно-измерительными устройствами в команду для подачи на исполнительный орган, и прекращаю т Процесс нанесения пленки после того, ,каК разностный сигнал изменит Свою полярность.

Это П01выша,ет точность контроля и позволяет пре.кратить процесс нанесения пленки при достижении з.аданной толщины.

На фиг. 1 изобфал ен эталонный импульс .при контроле по предложенному способу; на фиг. 2 - измерительный импульс; на -фиг. 3 - разностный нмпульс; на фиг. 4 - элементарный положительный импульс.

Контроль толщины плен.ки в процессе ее аанесения на катод согласно предложенноиму способу осуществляют следующим о;бразом.

Короткими одическим и вспышками света освещают эталон и свидетель. Этало.нный импульс (см. фиг. 1) является постоянным по величине и полярности. Измерительный импульс (СМ. фиг. 2), прошедший через свидетель, находится в противофазе эталонному и уменьшается (по абсолютному значению) .по мере увеличения о.птической плотности (или толщины) наносимого слоя.

Вследствие этого, разностный импульс (с.м. фиг. 3) TaiKJiie уменьшится. Пр-и каждой вспышке прои.зводится измерение величины разностного И:мпу.1ьса через время Т после мо.мента н.анала вспыш1ки, когда а1мплитуда импульса достигает величины, близкой .к м.акси;мальной. Время измерения t, зада ваемо.е зар.анее, составляет i/s-Ло време,ни Т. При переходе разностного импульса через нуль (см. фиг. 4), т. е. при получении эле1ктро.нно.измерительным устройством элементарного положительного и.мпульса с амплитудой Д5, выдается сигнал исполнительному ор|Гану, кото,рый прекращает напыление.

Предмет изобретения

катод, с использованием эталона, свидетеля и элактройно-измерительного устройст1ва, связанного с иополнительньм орГаном, заключающийся IB том, что одно1временио освещают эталон и свидетель, сравнивают величины световых потоков, прЛшедшиХ через эталон и авидетель, и оо величине разностного сигнала судят о толщине наносимого слоя, отличающийся тем, ЧТО-, с целью повышення томности Контроля и прекращения процесса нанесения нленки при достижении заданной

толщины, эталон и авидетель освещают короткими импульсами, заде;ржива,ют начало измерени;Я до достижения разностным сигнало1М зн.амени-я, к максимальному, после чего измеряют разностный сигнал в теченне времени, за которое указанный сигнал преОбразовывается эле:ктрон1но.-из1мерительными устройстеами в жоманду для подачи на исполнительный орган, и прекращают пропесс нанесения пленки после , ка,к разностаый сигнал изменит свою полярность.