УСТАНОВКА ДЛЯ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ Советский патент 1969 года по МПК C23C14/56 

Изобретение относится к области вакуумного напыления.

Известна установка для вакуумного напыления деталей, содержащая рабочую и отделенную от нее вакуумной заслонкой шлюзовую камеры и устройство для перемещения подложек.

Предложенная установка отличается от известной тем, что устройство для перемещения подложек выполнено в виде ползуна с гнездом и фиксатором, расположенного в щлюзовой камере, и кронштейна с направляющими выступами и отводным упором, расположенного в рабочей камере. Это повышает качество покрытий.

Па фиг. 1 представлена описываемая установка, общий вид; на фиг. 2 - гнездо нолзуна; на фиг. 3 - кронштейн.

Установка содержит рабочую камеру 1, отделенную от нее вакуумной заслонкой 2, щлюзовую камеру 3, устройство для перемещения подложек, выполненное в виде ползуна 4 с гнездом 5 и фиксатором 6, расположенного в шлюзовой камере, и кронштейн 7 с направляющими выступами 8 и отводным упором 9, расположенный в рабочей камере 1.

ную заслонку 2 и с помощью ползуна 4 перемещают подложку в рабочую камеру /; при этом отводной упор 9 приподнят так, что подложка садится на нанравляющие выступы 8 кронштейна 7. Затем опускается отводной упор 9 и при обратном ходе ползуна 4 подложка вынимается из гнезда 5.

Далее в рабочей камере на подлон ку наносится покрытие. По окончании нанесения покрытия ползун 4 вторично вводится в рабочую камеру, где с помощью фиксатора 6 подлол ка 10 закрепляется в гнезде 5, после чего отводной упор 9 поднимается и ползун 4 возвращает подложку в шлюзовую камеру.

Предмет изобретения

Установка для вакуумного напыления деталей, содержащая рабочую и отделенную от нее вакуумной заслонкой шлюзовую камеры и устройство для перемещения подложек, отличающаяся тем, что, с целью улучщения качества покрытий, устройство для перемещения подложек выполнено в виде ползуна с гнездом и фиксатором, раснололсенного в шлюзовой камере и кронштейна с направляющими выступами и отводным упором, расположенного в рабочей камере.

ло