1
Изобретение относится к технологии производства радиоэлектронной аппаратуры ; ; и запоминающих устройств вычислительных I машин, в частности к конструированию . (оборудования для изготовления тонкопле- : 5 ночных микросхем и магнитных матрицИзвестно устройство для нанесения мно- гослойных покрытий в вакууме по авт.св. IN 279291.
Цель изобретения - повышение надежно- 10 сти и повышение качества и воспроизводи- мости покрытий - достигается тем, что предлагаемое устройство снабжено механизм мом съема подложек в виде каретки, установленной на стенке дополнительной ваку- is умной камеры с возможностью ; а6ступательного перемещения по вертвжали, и ника в виде Г-юбразного рычага, оНно плечо которого взаимодействует с кареткой, а другое - с приводным механизмом.: 20
На фиг. 1 , изображено предлагаемое уст-j
.ройство спереди .и сверху на фиг. 2 - ;
разрез по месту стыковки рабочей и транс
портной камер: на фиг.З - механизм сье- I
ма подложек. 25
Устройство состоит из транспортных 1, . рабочих 2 и шлюзовых камер загрузки 3 и выгрузки 4. К рабочим камерам подсоединено различное технолоЕгическое- оборудование: испарители 5, нагреватели 6, охладитель 7. Для напыления магнитных матриц служат электромагнитные кольца 8, в магнитное поле магнитные материалы наь1 пыляютгсяи стабилизируются. Все камеры
установлены; на каркасе 9, внутри которо
го смонтированы; вакуумная система, пнев мосистема, система охлаждения и подводка электропитания.
В транспортной камере расположены ме ханизм 1О транспортировки подложки 11, эксцентрик 12 привода съемника 13 и Г-образный рычаг 14. Перед отверстием, соединяющим транспортную камеру с рабо|чей, расположен щлюзовой затвор 15. В (рабочей камере расположена каретка съем ника 16, опирающаяся на Г-образный рычаг |14. I
I Устройство работает следующим образом Механизмы транспортировки Ю |;щают кассету с подложкой 11 в рабочую .
камеру, эксцентрик 12 привода съемника поворачивается, и Г-обрапн)Й 1 4 поднимает каретку 16 с подложкой.
Транспортирующий механизм воуиратается в исходное положение, и в (рабочей камере включается технологическое оборудование для проведения какого-либо процесса.
В случае нарушения вакуумной плотности, например ввода привода съемника 13, шлюзовой аатвор 15, перекрывая отверстие между транспортной и рабочей камерами, обеспечивает сохранение рабочего вакуума в рабочей камере.
Г1Г ЕДА1ЕГ ИЗОБГЬ ГЕ{ Л1 Я Устройство для нанесения млогислийных покрытий в вакууме но аьт. св. К 279291. отличающееся Пм, что, с целью повышения надежности и повышения качества и BOcnpoHaJiuaiiMoc-j-n покрытий, оно снабжено механизмом сы;ма подложек в виде ка/;етки, устаншиач ной пл стенке дополнительной вак умни11 камеры с возможностью посгупателыюго перемеи(ения по вертикали и сьемннка в виде Г-образного рычага, одно котор01-о взаимодействует с кареткой, а Afjyi-oe - с приводн1лм механизмом.
Фиг 1 б
(Риг. 2
