В предлагаемом устройстве, предназначенном для измерения перемещений
поверхности по нормали, применены два неподвижных микроскопа с осями, составляющими стороны некоторого угла, вершина которого сов1 адает с предметными точками объективов микроскопов, из. коих один микроскоп вместо окуляра снабжен освещаемой щелью, а-другой- оиулярной сеткой.
Изображенное схематически на чертеже предлагаемое устройство состоит из двух микроскопов А и 4i, оси которых составляют некоторый угол а. и пересекаются в точке 6. С этой же точкой V совпадают и предметные точки объективов О и Oj. Микроскоп А вместо оку,лярй снабжен освещаемой щелью S, расположенной перпендикулярно к плоскости, содержащей оси оЬоих микроскопов, микроскоп же А снабжен окулярной сеткой W. Если поверхность У, перемещение которой измеряется, проходит через точку s, то изображение щели S появится на окулярной сетке W в месте К.,
При перемещении поверхности V по .нормали в положение Vi изображение щели из места К перейдет в место К,
выходя из фокуса окуляра. По перемещению изображеййя щели можно определить величину перемещения по нормали поверхности в пределах до 0,02--
0,03 мм с точностью до микрона, а также устанавливать поверхность на заданное место с точностью до 0,1 микрона.
Вместе с тем приспособление позволяет судить по форме, которую принимает изображение щели, о том, ровную ли поверхность в соответствующем месте представляет предмет.
Для увеличения доступных измерению перемещений поверхности до 0,3-0,4 мм. угол а должен быть, прямым, а щель S надо расположить в плоскости, перпендикулярной к плоскости, содержащей оси обоих микроскопов, наклонно к оси микроскопа 1 под углом около 10 при чем на сетке W всегда будет находиться резкая часть изображения щели 6.
Предмет изобретения.
1. Устройство для измерения перемещений поверхности по нормали, отличающееся применением двух неподвижно закрепленных микроскопов А и y4i с осями, наклоненными друг к другу под некоторым углом, предпочтительно прямым, и.с предметными точками объективов О и Оь совпадающими с точкой пересечения осей микроскопов, из коих один микроскоп 1 вместо окуляра снабжен освещаемой щелью 5, расположенной перпендикулярно к плоскости, содер |{ащей оси обоих микроскопов, а другой микроскоп А снабжен окулярной перпендикулярной к плоскости, содержасеткой JV.
2. Видоизменение устройства по п. 1, отличающееся тем, что щель 5 микроскопа AI, расположенная в плоскости, щей оси обоих микроскопов, наклонена к оси микроскопа Ai под углом около
5
IT V.
