УСТРОЙСТВО для НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 1970 года по МПК C23C14/32 

Известно устройство для панесения покрытий в вакууме, содержащее испаритель, закрепленный в токоподводящих водоохлаждаемых губках, и механизм подачи испаряеМОго металла.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что оно интенсифицирует процесс исиарения, и испаритель выпол-нен из пористого материала.

Па чертеже -представлен обш,ий вид устройства.

Устройство состоит 1из испарителя /, закрепленного В токоподводящих водоохлаждаемых губках 2, -и механизма подачи 3 «спаряемого металла.

Испаритель при пропускании через него электрического тока нагревается до температуры испарения алюминия. Па верхнюю поверхность испарителя непрерывно подается напыляемый материал, например алюминий, в возвратно-поступательвом движен и, который расплавляется и растекается ло верхней поверхности испарителя, 50% расплавленного алюминия диффундирует через испаритель по его толщине и испаряется в равном количестве с нижней поверхности испарителя. Над и под испарителем «епрерьшно движется иленка ил« лента металлизируемой подлож ки 4 и 5, на которой конденспруются .пары алюминия. В качестве пористого .материала может быть использован металлокера.мический брусок из диборида циркония.

Предмет изобретения

Устройсгво для нанесения покрытий в вакууме, содержащее испаритель, закрепленный в токоподБОДящих водоохлаждаемых губках, и механизм подачи испаряемого металла, отличающееся тем, что, с целью интансификации Процесса испарения, испаритель выполнен из пористого материала.

3..

-CS3