Электродуговой испаритель металла Советский патент 1981 года по МПК C23C13/08 

54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛА

Изобретение касается нанесения вакуумных покрытий.

Известен электродуговой испаритель металла, содержащий катод, анод, поджигающий электрод и экран.

Цель изобретения - снизить ток горения дуги.

Для этого анод выполнен в виде металлической оболочки, обхватывающей работую поверхность катода и служащей одновременно внутренней поверхностью вакуумной камеры.

На чертеже схематически изображен предлагаемый испаритель, общий вид.

Испаритель состоит из катода 1, анода 2, выполненного в виде металлической оболочки произвольной формы, обхватывающей рабочую поверхность катода и поджигающего элек грода 3, Аной 2 в виде металлической оболочки служит одновременно внутренней поверхностью вакуумной камеры 4 .

Дуга возбуждения кратковременным касанием поверхности катода 1 поджигающим электродом 3 горит в парах материала катода между рабочей по i-fAf -JJ - -Х,- ir:

feeHJ JiAST.:.:-. ,r 5

верхностью катода 1 и внутренней поверхностью оболочки анода 2 при. любом низком давлении остаточных газов в вакуумной камере 4.

Так как металлическая оболочка анода 2 со всех сторон обхватывает рабочую поверхность катода 1, то потоки металлической плазмы, образованные в катодной области

0 дугового разряда, беспрепятственно достигают внутренней поверхности металдической оболочки анода, тем самым обеспечивая стабильное горение дуги.

5

Формула изобретения

Электродуговой испаритель меташла, содержащий катод, анод, поджи0гающий электрод и экран, окружающий боковую поверхность катода, отличающийся тем, что, с целью снижения тока горения дуги, анод выполнен в виде металлической

5 оболочки, обхватывающей рабочую поверхность катода и служащей одновременно внутренней поверхностью вакуумной камеры.