Электродуговой испаритель металлов Советский патент 1979 года по МПК C23C13/12 

Изобретение относится к области йане сения покрытий в вакууме. Известен электродуговой испаритель металлов, содержащий корпус, катод, под жигающий электрод и анод. С целью повышения стабильности горения дуги в предлагаемом испарителе имеется соленоид, расположенный снаружи вы полненного из немагнитного материала кор пуса, внутри которого коаксиально размешен катод. На чертеже представлен предлагаемый испаритель, общий вид. Испаритель содержит выполненный из немагнитного материала корпус 1, внутри которого коаксиально размешен катод 2, поджигающий электрод 3, анод 4 и соленоид 5, расположенный снаружи корпуса. Дуга возбуждается кратковременным прикосновением поджигающего электрода 3 к поверхности катода 2 и горит в парах металла катода между рабочей поверхностью катода (той, с которой происходит испарение металла) и внутренней поверхнос- тью оболочки анода при сколь )дно низ ком давлении остаточных газов в вакууг ™ ной камере. Так как анод 4 выполнен в виде обо лочжи, охватывающей рабочую поверхность катода, то потоки металлической плазмы, образованные в катодной области дугового разряда, беспрепятственно достигают внутренней поверхности оболочки. Через столб плазм, заключенный между катодной областью дуги и анодом, осуществляется перенос тока между электро дами. Необходимым условием стабильного горения дуги является беспрепятственное достижение плазмой поверхности анода. Это возможно, если анод охватывает со всех сторон рабочую поверхность катода. Так как боковая поверхность катода дится в скрещенных электрических и маг нитных полях, а его рабочая (торцовая) поверхность в параллельных, то катодное пятно дугорого разряда перемещается преимущественно по рабочей поверхности. 3ЗО7 Этим самым постигается стабилизация катодного пятна на рабочей поверхности катода,аспедователы1о, потоки тшаамы могутбеспрепятс-тенно достигать поверхности анода. Формула изобретения Электродуговой испаритель металлов, содержащий корпус, катод, поджигающий электрод и анод, отличающийс я тем, что, с целью улучшения стабильности горения дуги в испарителе, он снабжен соленоидом, расположенным снаружи выполненного из немагнитного материала корпуса, внутри которого коаксиально размещен катод.

Отначна на