ИАТЕКТГО г40TtXHn4Lvi.,»/«БИБЛИОТЕКА Советский патент 1970 года по МПК C23C14/54 

Изобретение относится к устройствам для нанесения токопроводящих иленок, например, на основание резисторов.

Известны устройства для нанесения токопрпъодяших Пленок методом пиролиза газообразных реагентов, напоимео биc-этилбv нз()лхпома. для получения хромовых покрытий, содепжащие загрузочный механизм, вакухапгую камеоу. соединенную тоубонроводом с испарителем, и разгрузочный механизм.

Испаритель выполнен а виде нагреваемого объема, в КОТОРЫЙ загружается определенная ПОРЦИЯ реагента для испарения.

Однако эти устройства не обеспечивают равномерного и стабильного во времени нан сения токопрОВодяпшх пленок, так как в процессе работы устройства уменьшается количество паров реагента из-за уменьшения его количества в испарителе и фракционирования. В результате уменьшается толщина токоПРОводяших пленок и увеличива.ется сопротивление Резисторов.

ТЛель изобретения - устранить влияние уменьшения количества реагента в испапителе и его фракционирование на ТОЛЩИНУ наносимых токопроводяших пленок, повысить равномерность и качество нанесения пленок.

и схемы измерения и управления скоростью испарения.

Калориметрический датчик расхода представляет собой три Архимедовых спирали, выполненные из терморезистивной проволоки (например, вольфрамовой, платиновой) и ио.мешениые внутрь термостатирован1юго трубопровода нернендикулярно его оси на некотором расстоянии одна от другой, причем срелняя спираль является нагревателем, а крайние

спирали подключены к измерительному мосту.

Схема измерения и управления состоит из

четырехплечевого моста, в измерительную

диагональ которого включен электронный потенциометр тина ЭПД. С помощью регулирующих контактов последнего управляют нагревательным элементом испарителя.

На фиг. I изображена блок-схема устройства; на фиг. 2 - регулятор скорости испарения.

Устройство для нанесения токопроводящих пленок состоит из загрузочного механизма /, вакуумной камеры 2, соединенной носредством трубонровода с исиарителем 3, разгрузоч.ного механизма 4 и регулятора скорости испарения 5, имеющего обратную связь с испарителе г.

Регулятор скорости испарения включает н себя датчик расхода, выполненный в виде тре.ч