Известны приводы для микронеремещений, выполненные в виде гидростатической опоры, противоположные несущие карманы которой связаны с регулируемыми гидравлическими сопротивлениями, образованными канавками переменного сечения на золотнике.
Для увеличения жесткости привода и повышения его быстродействия в предлагаемом приводе использован двухкаскадньш мембранный усилитель, в котором установлены две мембраны, образующие с одной стороны в сочетании с соплами второго каскада два управляемых гидравлических сопротивления, связанных на входе с источником давления и на выходе - соответственно с двумя противоположными несущими карманами, а с другой стороны - две полости управления первого каскада усилителя.
Кроме того, полости управления первого каскада усилителя связаны на входе с источником давления через постоянные гидравлические сопротивления, а на выходе - с устройством типа «сопло-заслонка, заслонка которого связана с якорем электромеханического преобразователя.
На чертеже представлен описываемый привод.
ду соплами 4 и мембранами 5. Через разделитель 6 и два постоянных гидравлических сопротивления 7 масло подводится для управления первым каскадом регулятора. Из обеих полостей разделителя масло вытекает через сопла 8 устройства типа «сопло-заслонка, гидравлическое сопротивление которых регулируется заслонкой 9, приводимой в движение электромеханическим преобразователем 10.
Привод для микроперемещений работает следующим образом. Для смещения узла / на величину, не превышающую зазора в гидростатической опоре, на электромеханический преобразователь подается электрический сигнал соответствующей величины и полярности. Заслонка 9 смещается под действием электромеханического преобразователя, увеличивая
сопротивление одного сопла 8 и уменьщения сопротивления другого. Ру и Ру управления изменяются пропорционально изменению сопротивлений соответствующих сопел 8. Условие равновесия мембран нарущается, и они деформируются так, чтобы восстановить равновесие за счет сил упругости. Величина зазоров между соплами 4 и мембранами и их гидравлическое сопротивление изменяются. Это нарущает равновесие гидравличестатической опоры и два дросселя на входе в них. Подвижный узел 1 смещается до тех пор, пока равновесие моста не восстановится за счет изменения гидравлического сопротивления карманов.
Независимо от положения заслонки 9 привод обеспечивает обратную связь по нагрузке, что увеличивает его жесткость. При изменении нагрузки на величину Р давления PI и Р2 изменяются так, чтобы под действием появившегося перепада давлений воспринималась эта нагрузка. Равновесие гидравлического моста второго каскада нарушается и восстановление его происходит автоматически за счет изменения гидравлического сопротивления дросселей при деформации мембран под действием давлений PI и Р-. Узел / при этом не смеш.ается или смешается на величину, значительно меньшую, чем в случае привода без обратной связи.
Постоянные гидравлические сопротивления встроены в разделитель для уменьшения расхода масла на управление.
Заслонка 9 и мембраны при перемещении не имеют непосредственного контакта с соплами 8 Я 4, а только изменяют величину зазоров. Это исключает зону нечувствительности и износ рабочих поверхностей деталей регулятора, что повышает точность привода и его быстродействие.
Предмет изобретения
1.Привод для микроперемещений, выполненный в виде замкнутой гидростатической опоры, на входе в противоположные несущие карманы которой установлены управляемые гидравлические сопротивления, отличающийся тем, что, с целью увеличения жесткости привода и повышения его быстродействия, в приводе использован двухкаскадный мембранный усилитель, в котором установлены две лтембраны, образующие с одной стороны в сочетании с соплами второго каскада два управляемйх гидравлических сопротивления, связанных на входе с источником давления и на выходе - соответственно с двумя противоположными несущими карманами, а с другой стороны - две полости управления первого каскада усилителя.
2.Привод по п. 1, отличающийся тем, что полости управления первого каскада усилителя связаны на входе с источником давления через постоянные гидравлические сопротивления, а на выходе - с устройством типа «сопло-заслонка, заслонка которого связана с якорем электромеханического преобразователя.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ПРИВОД МИКРОПЕРЕЛ\Е1ДЕНИЙ | 1972 |
|
SU345298A1 |
Привод для микроперемещений | 1973 |
|
SU543782A1 |
ПРИВОД МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ | 1972 |
|
SU340796A1 |
ШПИНДЕЛЬНЫЙ УЗЕЛ | 1971 |
|
SU305034A1 |
Электрогидравлический усилитель мощности | 1990 |
|
SU1712678A1 |
Шпиндельный узел | 1982 |
|
SU1051340A1 |
Шпиндельный узел | 1979 |
|
SU872186A1 |
Гидростатическая опора | 1985 |
|
SU1291745A1 |
Гидравлический регулятор | 1982 |
|
SU1121654A1 |
Устройство адаптивного управления | 1978 |
|
SU677878A1 |
/ 2
От насоса
Даты
1970-01-01—Публикация