СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ КАРБИДНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ Советский патент 1970 года по МПК C23C16/32 

Изобретение относится к области нанесения карбидных покрытий на изделия из паро-газовой смеси.

Известен способ осаждения карбидных покрытий на изделия, например карбида титана, в вакууме из паров четыреххлористого титана и углеводорода при нагревании. Однако применение в качестве восстановителя водорода является взрывоопасным.

Предложенный способ отличается от известного тем, что, с целью обеспечения взрывобезонасности ведения процесса, в качестве восстановителя четыреххлористого титана до низших хлоридов, применяют титановую губку, нагретую до температуры 900-1000°С. Вместо титановой губки можно применять титановую стружку.

Испаряемость хлоридов и углеводородов повышают за счет небольшого разрежения (0,1 - 1 мм рт. ст.), создаваемого в камере форвакуумным насосом.

Так, например, при осаждении карбида титана на поверхность металлов и сплавов при температуре 900-1100°С четыреххлористый титан пропускают через реакционную камеру, содержаш,ую металлический титан в виде губки, и восстанавливают до двуххлористого, диспропорций нирующего на поверхности ооразца с образованием атомарного титана. Одновременно в камеру подают углеводород, например толуол, связываюш,ий титан в карбид. Поток газов осуществляют при разрежении мм рт ст. При температуре 1000°С и выдержке 1 час осаждают слои карбида титана толщиной 10-40 мк. Осажденный слой карбида титана имеет высокую микротвердость (3500-4000 кг/мм-), абразивную стойкость и кислотостойкость.

По предложенному способу можно осаждать на поверхность различных материалов покрытия из карбидов тугоплавких металлов и неметаллов, например из карбида кремния.

Предмет изобретения

Способ осаждения карбидных покрытий па изделия, карбида титана в вакууме из паров четыреххлористого титана и углеводорода в присутствии восстановителя при нагревании, отличающийся тем, что, с целью обеспечения взрывобезопасности ведения процесса, в качестве восстановителя четыреххлористого титана до низших хлоридов, применяют титановую губку, нагретую до температуры 900-ЮОО С