Изобретение относится к способам осаждения металлов, например, при нанесении покрытий, получении тонких пленок и мншеней для физико-химических исследований.
Известен способ осаждения металлов путем понизацни паров соединений металло: в электростатическом поле. Но ионизацию осуи ествляют радиоактивными препаратами, что затрудняет регулирование скорости процесса осаждения и требует подогрева подложек.
Предлагаемый способ устраняет указанные недостатки и позволяет регулировать скорость процесса осаждения металлов на неподогреваемые подложки. Осаждение металлов осуществляют путем ионизации паров соединений металлов в высокочастотном разряде в электростатическом поле.
При осуществлении способа может использоваться обычная вакуумная установка. На образец подают отрицательный потенциал порядка 500-2000 в и включают высокочастотный генератор. На внутренней стороне расположенных в камере электродов генератора закрепляют подложки. Предварительная откачка вакуумной камеры до остаточного давления 10 мм рт. ст. практически исключает загрязнение пленки продуктами ионизации остаточных газов. Путем изменения частоты и мощности высокочастотного разряда регулируют скорости процесса ионизации паров
соединений металлов.
Способ может использоваться для нанесения покрытий на проводники и диэлектрики.
Предмет изобретения
Сиособ осаждения металлов путем ионизации паров соединений металлов в электростатическом поле, отличающийся тем, что, с целью регулирования скорости процесса осаждения на иеподогреваемые подложки, ионизацию паров осуществляют в высокочастотном разряде.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОЧНОГО ПОКРЫТИЯ | 2007 |
|
RU2339735C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ИЗ НИТРИДА ТИТАНА НА ТВЕРДОСПЛАВНЫХ ПЛАСТИНАХ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ С ЭФФЕКТОМ ПОЛОГО КАТОДА. | 2014 |
|
RU2574157C1 |
| СПОСОБЫ, ИСПОЛЬЗУЮЩИЕ УДАЛЕННУЮ ПЛАЗМУ ДУГОВОГО РАЗРЯДА | 2013 |
|
RU2640505C2 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ НА ИЗДЕЛИЯ ЗАЩИТНО-ДЕКОРАТИВНЫХ ПОКРЫТИЙ | 1992 |
|
RU2039844C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ | 1996 |
|
RU2113537C1 |
| СПОСОБ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОЛИМЕРНЫХ ПОКРЫТИЙ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2008 |
|
RU2382119C1 |
| ПЛАЗМЕННО-ИММЕРСИОННАЯ ИОННАЯ ОБРАБОТКА И ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ ПРИ СОДЕЙСТВИИ ДУГОВОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ | 2014 |
|
RU2695685C2 |
| ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ С ПОГРУЖЕНИЕМ В ДУГОВУЮ ПЛАЗМУ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ И ИОННАЯ ОБРАБОТКА | 2014 |
|
RU2662912C2 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНОЙ ПЛЕНКИ ИЗ НАНОКЛАСТЕРОВ СИЛИЦИДОВ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКИ | 2010 |
|
RU2458181C2 |
| ФОКУСИРОВАННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПАРА | 2005 |
|
RU2277137C1 |
