УСТРОЙСТВО для ПЕРЕДАЧИ ПОСТУПАТЕЛЬНОГО ДВИЖЕНИЯ В ВАКУУМИРОВАННЫЙ ОБЪЕМ Советский патент 1971 года по МПК F16J15/52 

Изобретение относится IK те.хнологическому оборудованию электровакуумного и полупроводниковото производства и может быть нспользовапо д.пя перемещения заслонок и масок в напылительных установках, под:вил нь х элементов в кланана.х, вентиля.х, устройствах для пережима штенгеля иосле откачки электровакуумных приборОВ и т. д.

Известно устройство для передачи поступательного движения в вакуумную камеру, содержащее шток н сильфов. В этом устройстве тфи движении испсчтинтельного органа иод углом к штоку закон движения .искажается, особенно при нал.ччии Промежуточных звеньев.

Целью изобретения является .передача заданного закона движения ведомому звену. Для этого в предложенном устройстве щток выполнен полым и заполнен рабочей С;редой, не,редающей от задающего устройства движение на толкатель. Толкатель установлен одним «опцом Внутри щтока, а другим 1концол соединен герметично и вакуумноплотно с неподвижным участком штока, расположенным -внутри вакуумированного объема.

На чертеже изображено предлагаемое уст.ройство для передачи двнжения в вакуумированный объем.

ры 2 с помонд,ью иереходпого фланца 3 и сильфона 4. Внештпп .конец штока / связан с задающим тpeбye ый закон движения устройством (на чертеже не Показапо). Внутри лолого щтока / расположено рабочее тело, напрнмер шарики 5, воздействуюпию на цилиндрический толкптель 6, Входянип одиим концом внутрь П1тока /. Другой конец толкателя через сильфон 7 герметич.чо п эластично связан с неподвижно закрепленным концом штока /, расположенным 1виутри вакуумной камеры. В технологических целях соединение толкателя со шIaкo вынолнено разъемным с (ПОМОЩЬЮ фланцев S, 9, прокладки 10 и гайки И, иричем фланец 8 жестко закреплен в опоре 2.

Для К1 немагическоги замыкания цоии элементов шарикового пе11едато-111ого .механпзма н комнепсаци: атмосферного давления, действующего па толкатель, применена пружина 13. Изобретгпие обеспечивает точное вослроизведение заданного заачопа движения, передаваемого ислэлнительиому органу, причем элемепты 1пе;зедачи ш аимодействуют между собой 3 aтмoc4 I услозиях,

дерлсащее шток и сильфон, отличающееся тем, что, с целью передачи заданного закона движения ведомому звену, шток вьиюлнен полым и заполнен рабочей средой, передающей от задаюш,его устройства движение на толкатель, ,входяш,ий внутрь штока одним концом и соединенный другим концом эластично и

вакуумноплотно с неподвижным участком штока, расположенньим внутр.и ва1куумированного объема.

2, Устройство по ц. 1, отличающееся тем, что в качестве рабочей среды, заполняющей шток, применены щари-ки, а толкатель снабжен пружиной.

k