СПОСОБ ОБРАБОТКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ И ГАЗОРАЗРЯДНЫХ ПРИБОРОВ Советский патент 1971 года по МПК H01J9/385 

Данное изобретение относится к области технологии электровакуумных и газоразрядных приборов и, в частности, к способам откачки электровакуумных, газоразрядных и других приборов.

Известен способ обработки (очистки) арматуры электровакуумных и газоразрядных приборов путем иоиной бомбардировки в газовом разряде, состоящий в том, что смонтированные приборы подсоединяют к вакуумной системе и начинают эвакуацию из них воздуха или другого газа со скоростью 0,001-500 л/сек, зависящей от типа и конструкции приборов. Затем в интервале давлений 100-0,1 торр, определяемым типом обрабатываемых приборов, возбуждают разряд, подавая на электроды электрическое напряжение. Далее этот разряд поддерживают на-пряжением 100-3000 е и непрерывно продолжают эвакуацию газа из прибора. Под действием ионной бомбардировки жировые и солевые загрязнения удаляются с поверхности арматуры.

Однако недостаток известного способа заключается в том, что происходит загрязнение внутренней поверхности оболочки прибора, так как в связи с турбулентностью откачиваемого газового потока увлекаемые с арматуры загрязиения могут переноситься на оболочку прибора. Это особенно нежелательно для приборов, оболочки которых ие обезгаживаются путем прогрева прибора под печью.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что одновременно с возбуждением

газового разряда между электродами оболочку прибора облучают высокочастотной )льтразвуковой энергией с плотностью, достаточной для удаления адсорбированных веществ. Это позволяет устранить нежелательные явления переноса загрязнений внутри прибора, благодаря чему общее количество загрязнений уменьщается, что приводит к улучшению параметров и повыщению долговечности гфиборов.

Предлагаемый способ состоит в том, что смонтированные приборы присоединяют к вакуумной системе и начинают эвакуацию из ппх воздуха или другого газа со скоростью 0,001 - 10 л/сек, зависящей от типа и конструкции

прибора. Затем в интервале давлений 100- 00,01 торр, также определяемом типом обрабатываемых приборов, в них возбуждают газовый разряд. Далее этот разряд поддерживают напряжением 100-3000 в и непрерывно иродолжают эвакуацию irasa из прибора. Жировые и солевые загрязнения, находящиеся на поверхности внутрпламповых деталей, иод действием ионной бомбардировки возгоняются. Для того чтобы не происходило копдепсации

лочки прибора, как это наблюдается при известных способах обработки в связи с турбулентностью откачиваемого из прибора газового потока, одновременно с возбуждением газового разряда оболочка прибора облучается ультразвуковой энергией с плотностью, достаточной для удаления адсорбированных веществ.

Предлагаемый способ позволяет снизить удельную загрязненность внутри прибора до десятых и даже сотых долей гкг/сл а.

Способ совмещенной ультразвуковой и иоипой обработки особенно успешно может быть применен при изготовлении электровакуумных п газоразрядных приборов, в технологии изготовления которых отсутствует операция обезгаживания стеклянной оболочки пугем прогрева прибора под печью.

Предмет изобретения

Способ обработки электровакуумных п газоразрядных приборов путел ионной бомбардировки внутриламповых деталей в газовом рлзряде, которая ироисходит при непрерывном изменении давления в приборе, отличающийся , тем, что, с целью ликвидации переноса загрязнений на внутреннюю иоверхпость оболочки прибора, последнюю облучают ультразвуком

одновременно с воз.буждением газового разряда.