Известен способ обработки арматуры электровакуумных и тазоразрядных приборов ионной бОМбардИравкой .в разряде инертных газов. По способу в , отключенный от откачки, предварительно обезгажвнный прогревом под лечыо и токами высокой частоты, вводят инертный газ, а затем подают напряжение на электроды и зажигают аномальный тлеющий разряд. В результате бомбардировки HOHaiM.H разряда П01верхностей электродов очищается их поверхность. Предложенный способ отличается от известного тем, что приборы откачивают со скоростью 0,001-500 л/сек в зависимости от типа, разряд возбуждают при непрерывно изменяющемся давлении газа в пределах 100-0,1 тор и устанавливают на электродах напряжение 100-3000 в. Предложенный способ позволяет увеличить стабильность параметров, долговечность и надежность приборов. Данный способ состоит в том, что смонтированные приборы подсоединяют к вакуумной системе и начинают откачку из них воздуха или газа со скоростью 0,001-500 л/сек, зависящей от типа И Конструкции приборов. Затем в интервале давлений 100-0,1 тор, также определяемом типом обрабатываемых приборов, в них возбуждают разряд, подавая на электроды электрическое напряжение. Далее этот разряд поддерживают напряжением 100- 3000 в и непрерывно продолжают от качку газа. Под действием ионной бомбардироВКи жировые и солевые загрязнения, находящиеся на поверхности арматуры приборов, возгоняются. При этом загрязнения не успевают осесть на внутреннюю оболоЧКу прибора или на детали, как это происходит при известных способах обработки, потому что захватываются потоком газа и удаляются -из прибора. При изл1енении давления разряд перебрасывается с одних деталей на другие, очищая их поочередно ,и арматуру прибора в . Вели.чина напряжения должна обеспечивать возгонку жировых и солевых загрязнений без окисления и осмоления электродов прибора. Исходя из этих условий, величина напряжения для различных типов приборов лежит ,в пределах 100-3000 в. После описанной обработки приборы откачивают известными способами. Совокупность операций предлагаемого способа при определенных значениях напряж-евия горения разряда и скорости эвакуации газов из приборов дает возможность удалять загрязнения из подготовленных к откачке при-боров без окисления электродов. При возбуждении разряда в стабилитроне СГ15П-2 во время его откачки напряжением в 300 в жировые и солевые загрязнения прибора не уменьшаются, при напряжении 500 в удаляются жировые загрязнения, а солевые уменьшаются с 3 до 0,7 мкг/см-, п;ри 1000 в содержание тех и других загрязнений становится
ниже чувствлтельиости метода их оиределения (0,05 мкг/см). Таким образом, очистка поверхности деталей в приборах во время их обработки 03 разряде на откачке может быть достигнута только лр;и совокупности оптимальных значений времени, напряжения и тока горения разряда при явпрерывно уменьшаемом давлении ВОвдуха в приборе.
Предмет изобретения
Способ обработки арматуры электравакуумных и газоразрядных шриборов путем ионной
бо/мб.ардиройки в тазовом разряде, отличающийся тем, что, с целью 1повышен(ия надежности и долговечности П|риборов, их откачивают со скоростью 0,001-500 л/сек в зависимости
от типа прибора, (возбуждают разряд в интервале давлений 100-0,1 тор и поддерживают его при .И31меняющвмся давлении газа за счет непрерывной от1кач1К1и подачей на электроды напряжения от 100 до 3000 в, причем величину
напряжения выбирают такой, чтобы обеспечить возговку жировых и солевых загрязнений в газовую фазу без окисления электродов.
