ПРОЕКЦИОННЫЙ КООРДИНАТОГРАФ Советский патент 1971 года по МПК G03F1/00 H05K3/00 

Предлагаемое изобретение относится к технологии производства микропленочных радиосхем, а именно к конструктивному выполнению проекционного координатографа, служащего для изготовления негативных трафаретов.

Известны проекционные координатографы, содержащие координатный стол с фиксатором и оптическую систему с осветителем, конденсатором, объективом и регулируемым коллиматором.

Известные координатографы не обеспечивают получения высокоточных негативных изображений, имеющих форму прямоугольных фигур.

С целью повышения точности негативных изображений, имеющих форму прямоугольных фигур в предлагаемом координатографе коллиматор выполнен в виде соединенных с микрометрическими винтами двух пар ортогонально установленных шторок, размещенных между конденсором и объективом.

Иа фиг. I изображен общий вид предлагаемого координатографа; на фиг. 2 - разрез по Л-А; на фиг. 3 - разрез по Б-Б.

Координатограф содержит осветитель 1, конденсор 2, коллиматор 3, объектив 4 и координатный стол 5. Коллиматор расположен между конденсором и объективом. Перед конденсором 2 установлено матовое стекло 6. Коллиматор образован двумя паралш ортогонально расположенных шторок 7 и 5. Шторки 7 сдвигаются и раздвигаются микрометрическим винтом 9, а шторки 8 - микрометрическим винтом 10. Координатный стол 5 перемещается в продольном и поперечном направлениях посредством винтом 11 и 12. Последовательная засветка участков не показанного на чертеже и размещенного на столе 5 светочувствительного материала световым потоком, повторяющим конфигурацию фигуры, образованной щелью между шторками коллиматора, и соответствующее размещение засвеченных участков относительно выбранной координатной системы позволяет получать высокоточные негативные изображения, имеющие форму прямоугольных фигур.

Предмет изобретения

Проекционный координатограф, содержащий координатный стол с фиксатором для крепления на нем светочувствительного материала и оптическую систему, снабженную осветителем, конденсором, объективом и регулируемым коллиматором, отличающийся тем, что, с целью повышения точности негативных изображений, имеющих форму прямоугольных фигур, коллиматор выполнен в виде соединенных с микрометрическими винтами двух пар ортогонально установленных шторок, размещенных между конденсором и объективом.

Фиг.

f(-A

ue 3