РЕЗИСТИВНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ПОТЕНЦИОМЕТРА Советский патент 1971 года по МПК H01C7/06 

Изобретение используется в технике автоматизации, вычислительной и измерительной технике.

Известны резистивные элементы потенциометра, выполненные в виде двух последовательно нанесенных слоев, одним из которых является слой родия.

Сопротивление рези.стивной дорожки изменяется с изменением температуры, т. е. резистивная дорожка обладает температурным коэффициентом сопротивления (ТКС).

С целью термостабилизации сопротивления в предлагаемом устройстве в качестве подслоя родия использована термообработанная пленка хрома.

На чертеже представлена схема предлагаемого резистивного элемента потенциометра.

Устройство содержит подложку /, резистивные дорожки 2 и 3, нанесенные на ситалловую подложку методом вакуумного термического испарения.

Изготовление резистивной дорожки производится -в две стадии.

Сначала на подложку напыляется тонкая

пленка хрома толщиной 100-150 А, удельное

сопротивление 5 200 ол/квадрат. После термостабилизации в вакууме ТКС такой пленки отрицательный и равняется -1,5-lO 1/°С. Затем поверх пленки хрома напыляется более

°

толстая пленка радия (толщина 300-350 А,

удельное сопротивление ол1/квадрат). Такие пленки родия обладают положительным ТКС, равным -fUS-lO- 1/°С. В результате

суммарная величина ТКС резистивной дорожки приближается к нулю. Измерения показывают, что в диапазоне температур от О до 300° С ТКС не превышает ±4-10-6 1/°, что на один-два порядка меньше, чем у известных

потенциометров.

Предмет изобретения

Резистивный элемент потенциометра, выполненный в виде двух последовательно нанесенных слоев, одним из которых является слой родия, отличающийся тем, что, с целью термостабилизации сопротивления, в качестве подслоя родия использована термообработанная пленка хрома.

rffMjrffffMfffffffffffftfffffM