УСТРОЙСТВО для ИЗГОТОВЛЕНИЯ ШАБЛОНОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ Советский патент 1971 года по МПК G03B7/12 

Известны аналогичные устройства.

В предлагаемом устройстве для изготовления шаблонов интегральных схем, с целью удобства эксплуатации, в прямоугольном отверстии рамки размещена каретка П-образиого сечения с продольными пазами на внешней стороне ее для размещения щариков сепаратора, позволяющих перемещаться каретке по осям X и У.

На фиг. 1-изображено описываемое устройство, общий вид; па фиг, 2-конструкция одного из сменных устройств мультипликации.

Сменное устройство мультипликации / с фотокассетой расположено на базовой плите 2 со щтифтами для посадки и центровки этих устройств мультипликации и резьбой для установки сменных объективов 3. Базовая плита укреплена на жесткой раме, на которой закреплены щтанга 4 крепления измерительного микроскона, ручной затвор фотоустаповки 5, фотооригинал 6, который крепится прижимной планкой 7 и подсвечивается снизу светильником 8 с лампами дневного света.

Сменное устройство мультипликации выполнено следующим образом. Основание 9 устройства, в котором сделаны точные отверстия 10 под штифты центровки, расположено па базовой плите. На основании расположен механизм устройства, который представляет собой двухкоординатную систему кареток, а

именно -каретки внешней 11 с накладками 12 и 13 для перемещений по А и У координатам соответственно, и каретки внутренней 14 с накладками 15 и 16, определяющими количество и точность мультипликаций.

Накладки, а также боковые поверхности основания и внутренней каретки 14 имеют фрезерованные пазы - продольные для размещения шариков сепаратора в накладках 12 и /5. а также на боковых поверхностях основания

0 н внутренней каретки и поперечные - в накладках 15 и 16 для западания щариков стопорпого механизма жесткой фиксации перемещений кареток относительно друг друга при

5 мультипликации.

В центре основания расположено отверстие 17 без резьбы, необходимое для прохождения оптических лучей объектива.

В центре внутренней каретки расположено окно 18 для контроля на микроскопе размеров изображений при первичной настройке установки. Внутри каретки выфрезирован паз 19 для размещения фотокассеты с фотопластинкой.

Предмет изобретения

Устройство для изготовления шаблонов интегральных схем, содержашее основание, измерительный микроскоп, систему подсветки, фиксирующее устройство и мультиплицирующее устройство, выполненное в виде перемещающейся по основанию по осям X R Y плоской рамки с прямоугольным отверстием, поперечными пазами в нижней плоскости и продольными пазами на внутренних стенках рамки для размещения щариков сепаратора, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повыщения удобства эксплуатации, в прямоугольном отверстии рамки размещена каретка П-образного сечения с продольными пазами на ее внещней стороне, взаимодействующими с щариками сепаратора при перемещении каретки по оси Y.

шт

/7 -15

(Puz.2