АЛМАЗНЫЙ ИНСТРУМЕНТ Советский патент 1971 года по МПК B23B27/20 

Из-вестен алмазный Инструмент для скрайбирозания полупроводниковых пластин на кристаллы, .рабочая часть которого выполнена в виде пирамиды с острыми режущими кромками.

Описываемый -инструмент отличается от известного тем, что его режущие кромки выполнены закругленными. Это о беспечивает повышение качества резки и стойкости инструмента.

На фиг. 1 изображен описываемый инструмент; на фиг. 2 - рабочая часть инструмента, вид сбоку; на фиг. 3 - разрез по А-А на фиг. 2; на фит. 4 - вид по стрелке Б на фиг. 2.

Инструмент содержит державку 1 и алмазную рабочую часть 2, которая имеет форму усеченной и неусеченной пирамиды, вершина и режущие кромки рабочей части выполнены

закругленными. Радиусы скругления принимают порядка 0,03 Л1л, ар - 0,02 мм. Угол а между противолежащими ребрами выбирают в -пределах от 90 до 140°. Длина / хорды дуги, образованной на ребре, - не более 0,05 мм.

Описываемое Изобретение предназначено для использования при изготовлении полупроводниковых приборов.

Предмет изобретения

Алмазный инструмент для скрайбирования полупроводниковых пластин на кристаллы, ра-бочая часть которого выполнена в виде пирамиды, отличающийся тем, что, с целью повышения качества резки и стойкости инструмента, его режущие кромюи выполнены закругленными.

Физ-1

С I