РЕЖУЩАЯ ГОЛОВКА Советский патент 1971 года по МПК B28D7/02 

Предлагаемое изобретение относится к области нроизводства иолуароводниковых приборов. В частности предлагаемая режущая головка предназначена для резки слитков полупроводниковых материалов на пластины диском с внешней режущей кромкой, армированной алмазным порощком.

В полупроводниковом производстве широко известны станки, в которых в качестве инструмента используются диски с режущей кромкой, армированной алмазом, и включающие устройство для подачи жидкости. Однако тонкие диски порядка 0,1 мм дают низкое качество реза за счет вибрации и деформации при резании, диски же иорядка 0,3-0,5 мм дают лучшее качество реза, но увеличивают количество материала, идущего в отходы за счет увеличения ширины реза.

Цель изобретения - повысить эффективность резания, уменьшить вибрацию и механическую деформацию диска, обеспечить возможность регулирования зазора между дисками.

Для этого режущий диск устанавливается в регулируемый зазор между двумя неподвижными дисками, смонтированными с возможностью регулирования зазора ними облицованными пористыми элементами, покрывающими сообщающиеся полости, выполненные в дополнительных лисках и соединенные с устройством для подачи жидкости. А доиолиительные диски соединены между собой с помощью подпружиненной колонки, упирающейся в винт с гайкой, и другого винта, упирающегося в один из дисков. На эти диски подается специальная эмульсия или вода, которая, проникая через поры пористых элементов, создает по обеим сторонам режущего диска гидравлические подушки. Эти подушки выравнивают диск в плоскости реза, уменьшая его вибрацию и деформацию.

На фиг. 1 схематически изображена предлагаемая головка; на фиг. 2 -, продольный разрез головки по оси шпинделя; на фиг.

3 - вид А.

Головка состоит из двух неиодвил :ных дисков 1, 2, на которых установлены пористые металлические элементы 3, 4. Между этими элементами (дисками) установлен режущий

алмазный диск 5, закрепленный на валу 6 шпинделя, на корпус 7 которого насажена втулка 8, скреиленная с диском /. Диск 2 в свою очередь посажен на колонки 9, которые запрессованы в диск /. Требуемый зазор между дисками 1 н 2 и режущим диском 5 устанавливается при помощи пружин 10, 11 винтом 12 и гайками 13. В дисках /, 2 имеются сообщающиеся полости 14, 15, в которые подается вода. Вода, проникая через пористые

костями режущего диска 5 и обращенными к ним плоскостями дисков /, 2 водяные подущки, которые гасят вибрацию и уменьщают деформацию режущего алмазного диска в процессе резания слитка.

Предмет изобретения

1. Режущая головка, содержащая диск с режущей кромкой, армированной алмазом, и устройство для подачи жидкости, отличающаяся тем, что, с целью уменьщения вибрации и динамической деформации диска, последний установлен между двумя дополнительными дисками, смонтированными с возможностью регулирования зазора между ними и облицованными пористыми элементами,

покрывающими сообщающиеся иолости, выполненные в дополнительных дисках и соединенные с устройством для подачи жидкости. 2. Головка по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью регулирования зазора между дисками, дополнительные диски соединены между собой с помощью подпружиненной колонки, упирающейся в винт с гайкой, и другого винта, упирающегося в один из дисков.

fue 1

111 10 2 9 13

, J.,

.MMM/)V,