УСТРОЙСТВО ДЛЯ СКРАЙБИРОВАНИЯ if ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН Советский патент 1974 года по МПК H01L21/00 

1

Изобретение отиоснтсй к области производства ; полупроводц|Иков 1х приборов и предназначено, в частности, для резш аластии на крист аллы.

Известен станок для скрайбирования полупроводниковых пластин, с помощью которого резка пластин на кристаллы осуществляется нанесением посредством алмазного резца сетки рисок на поверхности пластины.

Однако известный станок обладает рядом недостатков. Во-первых, он -иМеет низкую производительность вследствие ограниченной:скорости рабочего хода режущего инструмента. Увеличение скорости рабочего хода в известном станке ограничено наличием инерционных снл, возникающих при возвратно-поступательном движении каретки с резцом. Эти инерционные силы приводят к перегрузкам В-узлах трения. Во-вторых, IB известном станке наблюда тся сколы и разрушения на поверхности скрайбированных рисок, что также Объясняется- ограниченной скоростью резания. Целью настоящего изобретения является устранение перечисленных -недостатков, а имев№о разработка такого устройства, которое позволило бы увеличить производительность и повысить качество скрайбирования.

Поставленная цель достигается тем, что привод рабочего хода режущего инструмента выполнен в виде механизма пневмовыстрела.

а привод холостого хода -выполнен в виде цепной передачи с захватами для фиксации крайних положений каретки, причем упомянутая каретка свободно установлена на направляющих и не связана во время рабочего хода с приводом холостого хода.

На фиг. 1 показан общий вид устройства; на фиг. 2 - взаимодействие узлов на кинема-, тической схеме.

На станине / установлен механизм пневмовыстрела, содержащий пневмоцилиндр 2, пор-. щень 3 с закрепленным на нем толкателем (ударником) 4 и устройство взвода, состоящее из кулачка 5 и тяги 6, соединенной с порщнем

3. Кулачок 5 с пневмораспределительным устройством 7 установлен на валу 8 и кинемати: чески связан с механизмом перемещения 9, который имеет столик 10 для закрепления полупроводниковой пластинь //. Каретка 12, снаряженная резцом 13, подпружиненным с помощью пружины 14, перемещаемся по направляющим 15, которые оснащены демпферным устройством 16. Привод холостого хода состоит из цепной передачи 17 с захватами 18 и кинематически связан с механизмом 9 перемещения пластины

Устройство работает следующим образом. Обрабатываемая полупроводниковая пластина 11 закрепляется (например, мастикой)

на столике 10. Поршень 3 посредством тяги

5; кулачка 5 и вала 8 выводится в крайнее ле-. вое положение. Привод холостого хода, управ- ляемый валом 8, выводит каретку 12 с помощью одного из захватов 18 также в левоекрайнее положение; при этом захват 18 отжимает резец J3, в результате чего пр-и холостом ходе резец не касается поверхности полупроводниковой пластины 11. При повороте вала 8 на определенный угол пневмораспределительное устройство 7 подает сжатый воздух (давлением- порядка 4-6 кг/см) из магистрали в левую полость пневмоцилиндра 2. После достижения необходимого давления в цилиндре 2 поступление сжатого воздуха прекращается, и кулачок 5 освобождает тягу 6, в результате чего происходит пневмовыстрел. При этом толкатель ударяет по каретке 12, которая с большой скоростью перемещается по направляющим 15 вправо, и резец 13, поджатый пружиной 14, производит царапание полупроводниковой пластины 11. Скорость каретки 12 после нанесейия царапины гасится демпферным устройством 16. При крайнем правом положении каретки 12 механизм перемещения пластины осуществляет подачу столика 10 с пластиной // на заданный щаг, а полость рабочего давления пневмоцилиндра 2 соединяется с атмосферой посредством пневмораспредеЯительндго устройства 7. Затем цикл повторяется.

Таким образом, .каретка во время рабочего хода перемещается с большой скоростью и осуществляет скрайбирование пластины. -При этом достигаются высокая производительность и повышение качества скрайбирования.

Пред;% ет изобретен-ил. .Устройство для скрайбирования полупроводниковых пластин, содержащее каретку с закрепленным режущим инструментом, приводы рабочего и холостого хода инструмента, кинематически связанные с механизмом перемещения пластины, отличающееся т&м, что, с целью увеличения производительности, привод

Q рабочего хода режущего инструмента выполнен в виде механизма пневмовыстрела, а привод холостого хода содержит цепную передачу с захватами для фиксации крайних положений .каретки,;причем каретка, свободно установленная на направляющих, не связана во время рабочего хода с приводом холостого хода.

5 в

6 г

ю

Фиг. 2