Изобретение оиноаится к технологии производства элементов радиоанпаратуры и может быть ,использова.но для контроля качества резистивной пленкИ и контактных переходов неиарезанных неокрашенных резисторов.
Известен способ контроля качества пленочных рез1исто,рав путем сразнен ия 1внешнего вида реанстор а с некоторым эталоном.
Целью Изобретен.ия ав.тяется объективная оценка качества пленочных резистО|ров, позволяющая обна.руж:ить дефекты (ненарезаиНых неокраше.нных pe3i:-iCTOpOB и их ко-нтактны.х переходов.
Это достигается .использованием четырехзоидо.вого метода измерения, когда токовые зонды электричеюки соз-мещают с канта-ктным и узлам.и резисторов, пстенц.иальные зонды раслолагают ,в плоскости, .неперпеидикулярлой оси .рез истора, параллельно один другому, к токовым зондам П1р;ихЛадывают определенное напряже.ние, .резистору придают .вращательно-поступат€лыное движение с шагом, равным расстоянию между потвициальным.и зондами, с помощью которых непгрерьшно определяют градиент иапряжен.ия вдоль резистив ного элемента резистора, а о дефектности резистора судят ло величине отклонения напряжения oia потенциальных зондах от эталонного уроаНа фиг. I изобрал еиа схема контроля неларезиого леокращенного резистора; на фиг. 2-схе.ма контроля дефектов колтактных переходов резистора.
Для обнаружения дефектов ненареза:Н11ого ;неокращенного резистора токовые зонды У электрически совмещают с контактнымл узлами 2 резистора 3. Потенциальные зонды 4 устанавливают .НН небольшом расстоянии друг от друга в плоско-стл, ленерпендикулярной оси резистора, параллельно один другому. Это положен ие потенциальных зондов позволяет обнаружить наиболее опасные дефекты 5, которыми являются неоднородности по направляющей цилиндрической новерхности резистора. Потенциальные зонды 4 приводят ,в упругое соприкосновение с резистивным эле.ментом 6 резистора, к токовым зондам прикладывают определенное напряжение, а к потенциальным зондам - соответствующее компенсационное напряжение. Резистору 3 придают вращательно-поступательное движение с шагом, равным расстоянию .между лотенциальными зондами, что обеснечивает однократное прохожден.ис каждого участка резистивного элемента между эти.ми зондами, По показаниям регистрирующего прибора 7 судят о величине отклонения н апряжения на потенциалыны.ч зондах от эталонлого уровня, определяя тем, самы.м дефектuocib pca.iiCiopa. llpni контроле комгактпых переходО|В /неокрашенного резистора обнаружение дефектов про.нэводят одноЕ1рйменно ,на обоих переходах. Для этого токовые занды 1 н одноиман.ные им нотенциальные зонды 4 совмещают с контактными узлами 2, два других потенциальных зонда 4 раСполагают на рез,истив;ном элементе 6 у края соответствующего «оитактного перехода. К токовым зондам .прикладывают соответствующее лгапряжелтие, к потенциальным - соответствующее комненсацио.нное напряжение, а резистору 3 нридают вращателыное движеквде. По показаimm 1ре:Метр1-1 руюЩего П|рИ бО|р;а 7 судят о величине отклонения напряжения на каждой HHipe потенциальных зондов от эталон1ного уровня, определяя дефектность перехода. Предмет и з о б ) е т с л1 и я 1. Способ контроля качества пленочных резисторов, основанный на четырехзондовом методе иЗ:Мерен.ия, отличающийся тем, что, С целью обнаружения дефектов пенарезанных нео«р.аще1Н-:ныХ резистО|рС1В, токовые зонды элект.р:ичвск1и сс1в.мещают с конта1КТ ньгми узлами рези1СТО ра, потенции а л ыные зонды распил ai-ают в плоскости, HencpiicHAiiкулярной оси резистор-а, па.раллельно один другому, к токовым зондам прикладывают определенное напряжение, рез1истору придают в.ращательно-поступателыное движение с шагом, равНым расстоянию между потендиальными зол1дами, с пом1ощью котО:рых :непрерывио определяют градиент напряжения вдоль резистивного элемента резистора, а о дефектаюсти резистора судят по величине отклонения напряжения па потенциальных зондах от эталонлюго уровня. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью обнаружения дефектов конта кт111ых переходов неокрашенных рез,исФОров, токовые и одноименные им потенциальиые зонды совмещают с КОНтаКтнЫМИ уэлалии, два других потенциальных зонда распол-агают на резистиеном элементе 1вб«т1изи краев соот ветст В1ующего контактногоперехода, к токовым зондам прикл:адывают определенное напряжение, резистору придают враП1,ательное движение, а о дефектности перехода судят по вел,иЧ:Ине отклонен1ия напряжеЛ1ИЯ па каждой паре нотенциальных зондов от эталонпого уровня.
4
4
