КАССЕТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ Советский патент 1971 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов, а именно к сборочным процессам, и может найти применение в производстве гибридных интегральных схем.

В полупроводниковой промышленности при сборке, контроле и тому подобных операциях широко применяют в качестве накопителей кристаллов различного типа кассеты с вакуумными присосками.

Емкость (число одновременно загружаемых деталей) таких кассет колеблется от 100 до 1000 шт.

Кассета обычно представляет собой плиту, на рабочей поверхности которой выполнены специальные углубления-гнезда. В дне гнезд имеются отверстия, связанные с камерой разрежения. Кристаллы укладываются в гнезда кассет, и последняя используется в качестве загрузочного устройства в сборочных машинах различного типа.

Известные конструкции кассет не обеспечивают высокой точности ориентации (базирования) кристаллов, необходимой на некоторых сборочных операциях, например, при автоматическом присоединении полупроводниковых кристаллов к подложкам гибридных интегральных схем. Объясняется это тем, что погрешность базирования кристаллов в гнездах определяется зазорами между боковыми

стенками гнезд и кристаллами, а также допусками на размеры кристаллов и гнезд. При этом суммарная погрешность не обеспечивает необходимой точности для автоматической

сборки.

Цель изобретения - повышение точности ориентации кристаллов.

Эта цель достигается тем, что плита с гнездами выполнена из основания с плоской рабочей поверхностью и рамки со сквозными гнездами, подвижной относительно основания, перемеш,ение которой ограничено упорами; на двух взаимно перпендикулярных гранях рамки укреплены плоские пружины, поджимаюш,ие рамку к граням основания.

Благодаря этому кристалл базируется но своим двум взаимно пересекаюш.имся боковым граням, которые прижимаются к базовы.м боковым поверхностям гнезд, что значительно

увеличивает точность ориентации кристаллов. На фиг. 1 и 2 изображена кассета; на фиг. 3 показаны гнезда с кристаллами до их окончательной ориентации; на фиг. 4 - гнезда с кристаллами после их ориентации.

Кассета-накопитель представляет собой основание 1 с плоской рабочей поверхиостью, на которой установлена подвил ная рамка i со сквозными гнездами 3. Гнезда 3 имеют боковые поверхности 4, упоры 5 6, укрепмещение рамки 2, которая поджимается к упорам 5 плоскими пружинами 7. Ориентирование кристаллов выполняется следующим образом. В гнезда 3 кассеты укладывают (вручную или специальным кассетоукладчиком) предварительно ориентированные кристаллы 8. При этом они занимают в гнездах 3 различные положения (см. фиг. 3). После этого перемещают рамку 2 из одного крайнего положения в другое до уноров 6 и обратно (см. фиг. 2). При движении рамки 2 поверхности 4 гнезд 3 соприкасаются с гранями кристаллов и перемещают их на некоторое ограниченное расстояние, за счет чего кристаллы ориентируются относительно двух взаимно пересекающихся граней кристалла (см. фиг. 3). Предмет изобретения Кассета для полупроводниковых кристал лов, содержащая основание и рамку с гнездами для размещения кристаллов, отличающаяся тем, что, с целью повыщения точности ориентации кристаллов, рамка свободно установлена на рабочей плоскости основания, на двух взаимно перпендикулярных гранях которого укреплены плоские пружины, поджимающие рамку к противоположным граням основания с укрепленными на них регулируемыми упорами, обеспечивающими базирование рамки с различными угловыми положениями относительно основания.