СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ НЕОДНОРОДНОСТЕЙ НА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ Советский патент 1971 года по МПК G01N23/04 

Изобретение отиосИтся к области экснериментальной физики, занимающейся вонросами контроля чистоты и однородности поверхности твердых тел, а также к областям техники, где важен контроль за электрическим состоянием поверхности, например, микроэлектронике и тонконленочной технике.

Известен способ выявления электрических неоднородностей на поверхности твердых тел, заключающийся в том, что исследуемую поверхность подвергают воздействию электронного нучка высокой энергии в присутствии паров какого-либо вещества, образующего при облучении полимерную нленку на поверхности.

Для этого способа характерно необратимое изменение поверхности твердого тела при облучении высокоэнергетичными электронами.

Предложенный способ выявления электрическп.х неоднородностей на поверхности твердых тел предусматривает облучение исследуемой поверхности электронным пучком со средней энергией, близкой к порогу возбуждения молекул адсорбированных иаров вещества, образующего твердую пленку. Это исключае1 возможность повреждения поверхности электронным пучком.

ства и облучают электронным потоком при пороговой энергии. Образовавщийся геометрический рельеф изучают методами электронной или оптической микроскопии.

Предлагаемый способ обладает высоким разрешением по отнощению к нотенциальному микрорельефу нри достигнутом линейном геометрическом разрежении порядка 1000 А. Он позволяет выявлять электрические неоднородности поверхности как искусственного нроисхождения, так н образовавшнеся за счет разности работ выхода отдельных участков новерхности.

Предмет изобретения

1.Способ выявления электрических неоднородностей на поверхности твердых тел путем облучення исследуемой поверхности пучком электронов в вакууме в нрисутствии иаров вещества, образующего при этом твердую пленку на поверхностп, отличающийся тем, что, с целью увеличеиия чувствительности, облучение производят медленными электронаMi с энергней, близкой к порогу возбуждения молекул адсорбированных паров вещества.

2.Способ но п. 1, отличающийся тем, чго облучение нроизводят электроиами со средней энергией 2,5 эв нри нлотности тока а/см в среде наров вакуумного масла при интегральном давлении 10 тор.