ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОЙ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ДОВОДКИ РЕЗИСТОРОВ Советский патент 1971 года по МПК C25D11/02 

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть исиользовапо ири изготовлении гибридио-иленочнЕях микросхем. Известен электролит для пренизионной электрохимической доводки резисторов, содержащий сернокислый натрий. Предложенный электролнт отличается от известного введением в его состав фотожслатина, снирта и. глицерина нри онределеииом соотно1лении комнонеитов. Это позволяет повысить точность получения номиналов резисторов и обесг1ечить одновременную доводку их неиосредствеиио в микросхемах. Электролит содержит сернокислый натрий, фотожелатии, сиирт и глнцерии ири следующем соотношении комиоиентов, вес. %: Сернокислый натрий3-7 Фотожелатин20-35 Сиирт ректификат10-15 Вода дистиллированная2-6 Глицериностальное. В расчетное количество фотожелатина добавляют дистиллированную воду и ца ревают до тех нор, нока фотожелатин не нерейдет в жидкое состояние. Расчетное количество глицерина нагревают до 100°С, носле чего в него добавляют необходимое количество сернокислого натрия и тщательно перемешивают. Подогретый глицерин с сернокислым натрием вводят тонкой струей в желатин и медлеино неремешивают до иолного растворения сернокислого натрия. В получе1П1ую смесь добавляют сннрт ректификат и иеремещивают. Приготовленному электролиту дают отстояться для удаления нузырьков воздуха. Полученный электролттт можно вакуумировать. В нодогр/етом состоянии элект)олит разливают в подходящие формы, в которых он застывает. Прп комнатно температуре электролтгг представляет собой разнообразную массу. В застывшем состоянии ои легко обрабатывается любым режущим инструментом. Пример. Для прецизионной нодгоики резисторов применялся электролит следующего состава, вес. ч.: Сернокислый иатрий Фотожелатни Снирт ректификат Вода дистиллированная Глнцерин Для доводки одного резистора берут электролит с площадью, равной оксидируемой новерхности резистора, и закренляют его на отрицательном электроде. Для закренления электролита на электроде носледний иодогревают до 90-100°С, носле чего электролит слегка прижимают к иоверхности электрода.

Под действием температуры электролит в месте контактирования с электродом плавится и прочно соединяется с ним. Закрепленный электролит с электродом прижимается с поверхности резистора пружиной. После установки электрода с электролитом на поверхности подгоняемого резистора включается ток.

Процесс доводки резистора заключается в образовании па его поверхности окисной пленки, вследствие чего толщина металла резистора уменьшается, что приводит к увеличению сопротивления резистора. По достижении сопротивления резистора нужной величины нанряжение выключается и, электрод с электролитом поднимается.

Предмет изобре.тения

1.Электролит для прецизионной электрохимической доводки резисторов, содержащий сернокислый натрий, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности получения номиналов резисторов и обеспечения одновременной доводки их непосредственно в микросхемах, в его состав введены фотожелатин, спирг и глицерин.

2.Электролит по н. I,

отличающийся тем, что он содержит, вес. %:

Сернокислый натрий

3-7 Фотожелатин 20-35 Снирт ректификат 10-15 Вода дистиллированная

2-6 Глицерин

остальное.