Электролит для прецизионной электрохимической доводки резисторов Советский патент 1975 года по МПК C23B9/00 B01K3/12 

1

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении гибридно-пленочных микросхем.

Известен электролит для прецизионной электрохимической доводки резисторов, включающий дистиллированную воду, фотожелатин, спирт ректификат, глицерин и токопроводящую добавку.

Однако в токопроводящей добавке данного электролита имеется натрий иона (Na2SO4), что ухудшает свойства пленок Та2О5, а в некоторых случаях (например, при неполном удалении остатков электролита с поверхности резистора) может вызвать коррозию. Кроме того, данный электролит имеет очень высокую вязкость, что затрудняет заливку его в матрицы для групповой доводки резисторов.

С целью повышения точности получения номиналов резисторов в качестве токопроводящей добавки он содержит лимонную кислоту при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Лимонная кислота0,1-0,3

Фотожелатин20-24

Снирт ректификат1-3

Вода дистиллированная 20-25 ГлицеринОстальное

-Электролит приготовляют, добавляя в расчетное количество фотожелатина дистиллированную воду и нагревают до тех пор, пока

фотожелатин не перейдет в жидкое состояние. Расчетное количество глицерина нагревают до 100°С, после чего в него добавляют необходимое количество лимонной кислоты и тщательно перемешивают.

Иодогретый глицерин с лимонной кислотой вводят тонкой струей в желатин и медленно перемешивают до полного растворения лимонной кислоты. В полученную смесь добавляют спирт ректификат и перемешивают.

Приготовленному электролиту дают отстояться для удаления пузырьков воздуха. Полученный Электролит можно вакуумировать. В подогретом состоянии электролит разливают в формы, в которых он застывает.

При комнатной температуре электролит представляет собой резинообразную массу. В застывшем состоянии он легко обрабатывается любым режущим инструментом. Пример. Для прецизионной подгонки ре зисторов применяется электролит следуюи его состава, вес.%:

Лимонная кислота0,1

Фотожелатин20

Спирт ректификат1

Вода дистиллированная20

Глицерин58,9.

Для доводки одного резистора берут перфорированный металлический электрод (латунь.

медь, сталь и др.) с площадью, равной оксидируемой поверхности резистора, и помещают его в форму, например, из фторопласта в виде коробки, после чего заливают подогретым до 90-100°С электролитом. После остывания электролита он вместе с электродом прижимается к поверхности резистора пружиной, и подводится ток. Процесс доводки резистора заключается в образовании на его поверхности окисной пленки, вследствие чего толщина металла резистора уменьщается, что приводит к увеличению сопротивления резистора. По достижении сопротивления резистора нужной величины напряжение выключается и электрод с электролитом поднимается.

Предмет изобретения

Электролит для прецизионной электрохимической доводки резисторов, включающий дистиллированную воду, фотожелатин, спирт ректификат, глицерин и токопроводящую добавку, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности получения номиналов резисторов, в качестве токопроводящей добавки он содержит лимонную кислоту при следующем соотношении компонентов, вес. %; Лимонная кислота0,1-0,3

Фотожелатин20-24

Спирт ректификат1-3

Вода дистиллированная 20-25 ГлицеринОстальное.