СТОЛИК МИКРОСКОПА Советский патент 1971 года по МПК G02B21/26 

Изобретение относится к приборостроению и может быть ионользова 10, например в измерительных приборах, микросколах или микромани пуляторах, для точного совмещения фотошаблонов при изготовлении микроэлектронных схем на полупроводниковых нластинках методом фотолитографии с дву.хсторонним экоионироъанием.

Известны столики микроскопа, содержащие привод, кине.матически связанный с основанием, установленным на вертикальной нанра1Вляюидей корпуса микроскопа.

Предлагаемый столик отличается от известных тем, что наатравляющая вертикального перемещения вынолнена в -виде сильфо 1а, одним торцом укрепленного в корпусе микроскопа, а другим жестко связанного с нодиружиненным основанием, опирающимся через щариковые оноры на ведомое Звено нривода.

Такие отличия нозволяют уменьшить поперечные смещения и развороты основания -при его вертикальном перемещении.

Иа чертеже изображен вариант конструкции предлагаемого столика. Функции ведомого звена нривода вьшолияет пластина 1, жестко связанная с нолзуном 2 вертикальных направляющих 3 обычной конструкции, например шариковых. На пластине 1 по окружности нод углом 120° один « другому установлены три щарика 4. К шарикам цилиндрическими пружинами 5, щарнирно присоединенными на основании 6 корпуса микроскопа, прижимают основание столика. В центре основания 7 жестко за креплен конец вертикального сильфоиа 8, нижний конец сильфона закреплен на основании 6. Ползун 2 взаимодействует с ведущими элементами мехапизма (схематично изображены на чертеже в виде рычага 9. Механнз.м работает следующим образом.

Рычаг .9 сообщает нромежуточному звену (ползуну 2 с пластиной У) вертикальное перемещение, которое через шарики 4 передается основанию 7. Сильфон 8 удерживает основание 7 от нонеречных смещений и разворотов вокруг .вертикальной оси лри движении пластины / вдоль направляющих. Благодаря тому, что основание 7 покоится на шариках, поперечные перемещения пластины i и ее развороты не воздействуют на основание столика, так как сила трения .качеиия не в состоянии преодолеть силы упругости сильфона 8, удерживающего основа.ние в строго ориентированнолг положении в пространстве, позволяя ему перемещаться прямолинейно вдоль вертикальной оси за счет упругих деформаций сильфона, возникающих при перемещении плаВозможны и другие конструктивные варианты столика. В частности, пружины 5 мОГут быть за1менены другими известными элементами для осуществления силового замыкания, в некоторых случаях весом .ведомого звена или установленных на нем элементов. Вместо ползуна 2, взаимодействующего с вертикальными направляющими , в качестве промежуточного звена может быть использован клин, перемещающийся по поверхности второго, неподвижного клина; сильфон может быть установлен не под ведомым звеном, а над ним.

Предмет изобретения Столик микроскопа, содержащий привод, кинематически связанный с основанием, установленным на вертикальной направл5|ющей микроскопа, отличающийся тем, что, с целью уменьшения поперечных смещений и разворота основания при его вертикальном перемещении, направляющая вертикального перемещения выполнена в виде сильфона, одпим торцом укрепленного в корпусе микроскопа, а другим жестко связанного с подотружиненным основанием, опирающимся через шариковые опоры на ведомое звено привода.