УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕНА ЛЕНТУ Советский патент 1972 года по МПК C23C14/54 

Изобретение относится к области иаиесеиия покрытий в вакууме.

Известна установка для нанесения покрытий в вакууме на ленту, содержащая камеру, внутри которой расположены испаритель и приводные бобины, закрепленные на ujTaii rax, связанных с приводом вращения.

Однако в известной установке для перематывания ленты с одной бобины на другую необходимы вспомогательные ролики, установленные внутри камеры, что усложняет конструкцию установки.

Целью изобретения является создание такой установки, в которой отсутствуют вспомогательные ролики, устанавливаемые внутри камеры.

Эта цель достигается наличием механизма слежения, выполиенцого из двух храпововинтовых передач, связанных посредством собачек с рычагом, ось которого соединена о одной из штанг ириводиой бобины.

На фиг. 1 изображена установка, общий вид; ца фиг. 2 вид по стрелке А иа фиг. 1.

Установка включает камеру /, внутри которой расположены испаритель 2 и приводные бобины 3 и 4, закрепленные на штангах 5 к 6, связанные с приводом вращения (на фиг. не показан) и укрепленного вне камеры механизма слежения, выполнеииого из дву.х храпово-виитовых передач 7 и 8, связанных

посредством собачек 9 10 с рычагом 11, ось 12 которого соединена со штаигой 5 приводной бобины 3.

За пределами камеры / штанги 5 и 5 связаны посредством гаек 13 и 14 с механизмом слежения за перемоткой ленты. Гайки могут перемещаться по двум ходовым винтам 15 и 16. на которых крепятся храповые колеса 17 и 18 с большим количеством зубьев. Штанга 5 приводной боб)П1ы 3 выполнена полой и внутри нее проходит вал 19 для передачи вращения бобине. На валу 19 закреплен эксцентрик 20, воздействующий при вращении вала на ролик 21, связанный с концом рычага // тягой 22 и прижимающийся к эксцентрику 20 посредством пружины (на фиг. не показано). Вращение приводной 3 передается через вал 19, причем поддержание напыляемой поверхности ленты иа одном и том же расстоянии от испаряемой поверхности осуществляется за счет подъема бобины с наматываемой на нее лентой на величину толщины ленты за каждый оборот бобины. Подъем боои1 Ь (1ро зводнтся гяйкой 13 ходового винта 15. ксторый, в свою очередь, получает враиог1ие от храиоБОго Д ехаиизма. Xpanopoii механизм пивора-1: вает ходовоГ- винт на необходимый гол, соотвстствукяций толщине ленты за счет поворота на о.чин оборот эксцентрика 20 ,;i цепелпчч-ния ролика 2/ на соот15етству:о цее расстояние. Опускание ведомой бобины 4 производится от нроворота ходового винта 16 и иеремещения гайки 14. Ходовой винт /6 врандается от хранового колеса 18, на который воздействует собачка W, нолучающая движение от эксцентрика 20 через рычаг 11 с неременными длинам;и нлеч. Максимально возмож юе соотношение соответствует соотногнению наружно10 диаметра рулона ленты и внутреннего л имеет место в начале и в конце процесса нанв1лення. Таким образом, благодаря нримененной конструкции установки онускание ведомой бобины будет нроисходить в соответстви;с количеством сматываемой ленты за каждый се оборот, и расстояние ианв1ляемой поверхности ленты на ведомой бобине (как и на ведущей) от новерхности иснарения ноддерживается постоянным. Бобину устанавливают в вакуумной камере с обрабатываемой лентой, иосле ч.его камеру герметизируют и вакуумируют. Процесс нанесения нокрытггя осуществляется при включении испарителя, механизма неремотки ленты н механизма слежения за перемоткой ленты. После окончания процесса напыления камеру вакуумируют, бобины сиимагот и весь процесс повторяется.

Предмет и з о б р е т е н и я

Установка для нанесения покрытий в вакууме на ленту, содержащая камеру, внутри которой расположепы испаритель и приводные бобины, закрепленные на штангах, связанных с приводом вращения, отличающаяся тем, что, с целью исключенауя всиомогательных роликов, устанав,тиваемых внутри камеры, установка снабжена укрепле}1ным вне камеры механизмом слежения, выполненным ИЗ двух храпововннтовых передач, связанных посредством собачек с рычагом, ось которого соединена с одной из штанг приводной бобины.

21

Фиг 2