ОПТИЧЕСКОЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ ПОКРЫТИЕ Советский патент 1972 года по МПК C03B17/00 

Изобретение относится к оптическим интерференционным покрытиям и может быть использовано в оптической промышленности для просветления, например, полупроводниковых материалов.

Известно интерференционное покрытие, включающее двуокись кремния. Недостатком такого покрытия является низкий показатель преломления, что не позволяет использовать его для просветления деталей с относительно большим показателем преломления.

С целью повышения показателя преломления предлагаемое покрытие дополнительно содержит двуокись олова при соотношении компонентов (в вес. %):

Si022-98

SnOa2-98.

Покрытие получают путем совместного осаждения двуокиси кремния и двуокиси олоъа. Двуокись кремния получают при сжигании паров метилового эфира ортокремневой кислоты в пламени водорода, а двуокись олова - при гидролизе паров четыреххлористого олова. Указанные реакции осаждения проводят над нагретой до 300°С поверхностью покрываемой детали. В качестве газоносителя используют осушенный и очишенный воздух.

Соотношение смешиваемых компонентов определяется соотношением количеств газоносителей, направляемых для насыщения парами метилового эфира ортокремневой кислоты и парами четыреххлористого олова.

В зависимости от соотношения смешиваемых компонентов показатель преломления покрытия принимает значение от 1,45 до 1,95.

Предлагаемое покрытие может быть использовано для получения однослойных просветляющих слоев, работающих в условиях повышенной влалсности или агрессивных сред, а также входить в качестве составляющей части в многослойную интерференционную систему слоев.

Предмет изобретения

Оптическое интерференционное покрытие, включающее двуокись кремния, отличающееся тем, что, с целью повыщения показателя преломления, оно дополнительно содержит двуокись олова при соотношении компонентов (в вес. %):

SiOs2-98