СПОСОБ АВТОЛ1АТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИВСЕСОЮЗНАЯПА;-[||тно-т[х«гес1БИБЛИОТЕКА Советский патент 1972 года по МПК C30B13/30

Описание патента на изобретение SU338247A1

Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов.

В известных способах автоматического регулирования процесса бестигельной зонной плавки в качестве регулируемого параметра используется ток или напряжение на плавильном индукторе с воздействием на управляющий орган лампового генератора с точностью ±0,2%. При этом колебания температуры в расплавленной зоне составляют ±5°С. Такая точность поддержания температуры не удовлетворяет требованиям производства монокристаллов с заданными свойствами.

Целью изобретения является повышение точности ноддержания температуры расплавленной зоны.

Это достигается тем, что в качестве стабилизируемого параметра используют температуру индикатора, отражаюн1его изменение температуры расплавленной зоны. Чертеж поясняет предлагаемый способ.

На токоведущем проводе 1 плавильного индуктора 2 устанавливают индикатор 3, отражающий изменение температуры расплавленной зоны 4, и стабилизируют температуру индикатора.

сила, возникающая в горячем спае одной из термопар 6 поступает на показывающий прибор 7 для измерения абсолютного значения температуры индикатора 3. Термоэлектродвижущая сила, возникающая в горячем спае другой термопары 8 является регулирующим сигналом и поступает в систему 9 автоматического регулирования лампового генератора 10. С изменением температуры нагрева инднкатора 3 изменяется режим работы лалтового генератора 10, а, следовательно, п температура нагрева расплавленной зопы 4.

При использовании предлагаемого способа регулирования удается стабилизировать температуру индикатора, отражающего температуру расплавленной зоны в процессе бестпгельной зонной нлавки арсенида галлия с точностью ±0,5°С. При этом колебания температуры в расплавленной зоне не превышали ±0,1°С.

Предмет изобретения

Способ автоматического регулирования процесса бестигельной зонной плавки с индукционным нагревом расплавленной зоны путем стабилизации режима работы генератора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности поддержания температуры расилапленной зоны, в качестве стабилизируемого параметра используют температ.уру индикатора,

отражающую изменение температуры расплавленной зоны.

Похожие патенты SU338247A1

название	год	авторы	номер документа
Устройство для вертикальной, индукционной, бестигельной зонной плавки кремния	1960	Балдин В.С. Башенко В.В. Добровольская В.И. Копейкин Н.С. Недзвецкий Ю.Э. Ратников Д.Г. Щербаков А.А.	SU134030A1
СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА БВСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ	1970	Н. В. Дегт Рик, А. М. Киселев, И. И. Лежебоков, С. С. Наройчик, А. А. Николаев, М. О. Осовский, П. Я. Селиванов В. К. Шкл Ревский	SU276016A1
СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ МЕТОДОМ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ	2012	Алексеев Сергей Владимирович Афанасьев Валерий Давидович Выбыванец Валерий Иванович Евдокимов Борис Александрович Желтухин Алексей Евгеньевич Родягина Юлия Валерьевна Шевченко Александр Сергеевич Шотаев Александр Наурузович	RU2519410C2
УСТАНОВКА ДЛЯ ЛИТЬЯ	1971	Л. П. Менчикоп, К. И. Копылов, Е. Л. Окунь, В. Смирнов, В. С. Гавриков, Д. Фридман, В. Е. Марков А. А. Сопин	SU289787A1
СПОСОБ РЕГУЛИРОВАНИЯ МОЩНОСТИ БЕСТИГЕЛЬНОЙЗОННОЙ ПЛАВКИ	1969		SU430878A1
УСТРОЙСТВО для РЕГУЛИРОВАНИЯ ДИАМЕТРА КРИСТАЛЛА	1968	А. Е. Волп Нский, В. И. Щипунов, В. И. Забелышенский, А. С. Чистов, А. Г. Лагутин, О. И. Каморин, Б. М. Миттельштейн, И. Макеев И. Н. Воронов	SU209412A1
Устройство для поддержания и регулирования температуры в индукционных ростовых установках	1986	Матросов Владимир Николаевич Старцев Анатолий Иванович Алимпиев Александр Иванович Матросова Татьяна Архиповна	SU1442566A1
Устройство для получения монокристаллов кремния	1960	Бамунер А.В. Васильев А.С. Данилков Н.К. Дудин А.Г. Кочергин Л.Л. Малинин А.Ю. Моргун В.В. Пекерис Г.Л. Петров Ю.Б. Слухоцкий А.Е.	SU139440A1
Способ комплексного автоматического регулирования мощности высокочастотных установок бестигельной зонной плавки	1960	Васильев А.С. Петров Ю.Б.	SU139380A1
СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ЗАКАЛКИ^ пл'.':!1ТпЗ •< Тл,;,;;^ч^с::А1Е>&,ЗЛ1;СТЗКА	1965		SU173349A1

Иллюстрации к изобретению SU 338 247 A1

Реферат патента 1972 года СПОСОБ АВТОЛ1АТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИВСЕСОЮЗНАЯПА;-[||тно-т[х«гес1БИБЛИОТЕКА

Формула изобретения SU 338 247 A1

1 Jlgtfl

ь / -у

SU 338 247 A1

Даты

1972-01-01—Публикация