Изобретение относится к металлургии кремния и других материалов, подвергаюпшхся бестигельной зонной плавке.
Известны способы регулирования мон;ности бестигельной зонной плавки путем регулирования диаметра слитка.
Для получения монокристаллов с заданными структурными и электрофизическими свойствами необходимо в процессе бестигельной зонной плавки поддерживать не только заданное поперечное сечение зоны, но и ее определенную высоту, а также положение фронта кристаллизации.
Цель изобретения - получение монокристаллов с улучшенными физическими свойствами - достигается тем, что по предлагаемому способу стабилизируют положение фронта кристаллизации изменением мощности нагрева.
При использовании функциональной зависимости между диаметром выращиваемого монокристалла и оптимальной высотой зоны можно автоматически изменять мощность нагревателя, оптимальную для выращиваемого в данный момент диаметра слитка. При этом все другие параметры плавки (изменившееся напряжение сети, скорость прохода, расстояние от конца слитка и т. п.) на высоту зоны
2
влиять не будут, зона будет оставаться оптимальной.
На чертенке представлена схема регулирования, с помощью которой реализуется предлагаемый способ.
Схема состоит из датчика 1, например фотоэлектрического или телевизионного, блока 2 задатчика, блока 3 сравнения, исполнительного устройства 4 и генератора 5.
Граница между зоной 6, созданной при помощи нагревателя (индуктора) 7, и твердой частью 8 (выход фронта кристаллизации на поверхность) наблюдается при помощи датчика. В блоке сравнения сигнал с датчика
сравнивается с эталонным сигналом и подается на исполнительное устройство 4, которое обеспечивает соотвегствующую регулировку генератора 5, изменяющую мощность нагревателя.
Предмет изобретения
Способ регзлирования мощности бестигельной зонной плавки путем регулирования диаметра слитка, отличающийся тем, что, с целью получения монокристаллов с улучшенными физическими свойствами, стабилизируют положение- фронта кристаллизации изменением мощности нагрева.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ МЕТОДОМ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2012 |
|
RU2519410C2 |
| СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ БЕСТИГЕЛЬНЫМ МЕТОДОМ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ | 2009 |
|
RU2426824C2 |
| СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ | 1996 |
|
RU2092629C1 |
| Телевизионное устройство для автоматического регулирования и стабилизации диаметра слитка при бестигельной зонной плавке | 1978 |
|
SU949841A1 |
| Способ автоматического управления процессом выращивания кристаллов методом бестигельной зонной плавки | 1990 |
|
SU1818363A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ | 2006 |
|
RU2324017C1 |
| СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ДИСКОВ ИЗ ТУГОПЛАВКИХ МЕТАЛЛОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2013 |
|
RU2553905C2 |
| Телевизионное устройство для автоматического регулирования объекта | 1981 |
|
SU1083410A1 |
| СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ С ОБРАТНОЙ СВЯЗЬЮ ПРОЦЕССОМ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ МЕТОДОМ КИРОПУЛОСА | 2014 |
|
RU2560395C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ИНДУКЦИОННОЙ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1992 |
|
RU2049164C1 |
