Устройство для резки пластин Советский патент 1987 года по МПК B28D1/18 

1

Изобретение относится к обработке резанием неметаллических материалов, а именно к разрезке полупроводниковых пластин, и может быть использовано в электронной промьшленности.

Цель изобретения - повышение точности отрезаемых пластин.

Поставленная цель достигается тем что в устройстве для резки пластин одна из каждой пары направляющих выполнена цилиндрической, а другая - плоской, причем опоры вакуумного стола, взаимодействующие с плоской направляющей, выполнены в виде аэростатических подпятников с приспособлением для регулировки положения вакуумного стела относительно оси шпинделя На фиг. 1 показано устройство, общий вид; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение Б-Б на фиг. Ij на фиг. 4 - конструкция аэростатических подпятников.

Устройство содержит корпус 1, шпиндельную бабку 2, каретку продольной 3 и поперечной 4 подач, вакуумный стол 5, систему совмещения с оптической головкой 6 и систему подачи сма- зочно-охлаждающей жидкости. На валу шпинделя 7 закреплена оправка 8 с алмазным кругом. Шпиндель 7 крепится на каретке поперечной подачи 4, приводимой в движение с помощью ходового винта 9 и гайки 10 от шагового двигателя 11.

Каретки поперечной 4 и продольной 3 подач перемещаются по комбинированным направляющим: цилиндрическим 12 и 13 и плоским 14 и 15. Корпуса кареток снабжены регулируемыми аэростатическими подпятниками 16 и 17 круглой формы, опирающимися на плоские направляющие и закрепленными в корпусах кареток 3 и 4 с помощью винтов 18 и 19, Воздух в зазоры между плоской направляющей 14 и подпятниками 16, а также направляющей 15 и подпятниками 17 подается через отверстия малого диаметра, расположенные в основании подпятников 16 и 17.

Вакуумный стол 5 выполнен универсальным и предназначается для крепления всех пластин5 вписывающихся своим размером в контур его поверхности, Вакуумньш стол 5 центрируется на промежуточном столе 20 и фиксируется по притертым плоскостям Г посредством вакуума. Промежуточный стол 20 устанавливается в аэростати591392 .

ческом подшипнике 21 с опорой на шарик 22 для обеспечения минимального сопротивления трению при повороте ,- стола на 90 ив пределах углов ориентации.

Устройство работает следующим образом.

Перед началом работ на устройстве

10 проводится выставление параллельности плоскости вакуумного стола 5 относительно плоскости поперечных направляющих шпинделя 7, что осуществляется за счет изменения положения

15 регулируемых подпятников 16. Это достигается вращением винтов 18 и 19, которыми приподнимают или опускают правый край каретки 3. .С помоп1ью гаек 23 и 24 выполняют фиксацию выстав0 ленного положения каретки.

Отрегулировав положение вакуумного стола, на нем закрепляется пробная пластина и производится рез. Затем визирную линию видеоконтрольного

25 устройства (телевизора) совмещают с линией реза, воспроизводимой на экране с помощью головки 6 оптической, и в дальнейшем данная линия служит базой для ориентации других плас0 тин. Рабочую пластину, закрепленную на спутнике с помощью адгезионной пленки, устанавливают на вакуумный стол 5 и фиксируют ее с помощью вакуума. После введения в программу установки технологических параметров резки устройство самостоятельно производит разделение пластин на кристаллы в двух взаимно перпендикулярных направлениях.

0 Линейные перемещения кареток по осям X и Y осуществляются с помощью шаговых двигателей по неподвижным комбинированным аэростатическим направляющим. Цилиндрическая направляюс щая обеспечивает идеально прямолинейное перемещение, а плоская выполняет роль чисто несущей штанги. Использование плоской направляющей .в комплексе с аэростатическими подпят-Q никами приводит к созданию системы коррекции угла наклона плоскости вакуумного стола. Отсутствие второй цилиндрической направляющей приводит к ликвидации перекосов корпусов кареток.

5

Формула, изобретения

Устройство для резки пластин, содержащее корпус с двумя парами взаимно перпендикулярных направляющих, на которых установлены каретки со шпинделем, и вакуумный стол, отличающееся тем, что, с целью повышения точности отрезаемых пластин, одна из каждой пары направляющих выполнена цилиндрической, а другая - плоской, причем опоры вакуумного стола, взаимодействующие с плоской направляющей, выполнены в виде аэростатических подпятников с приспособлением для регулировки положения вакуумного стола относительно оси шпинделя.

Изобретение относится к области обработки резанием неметаллических материалов, а именно к разрезке полупроводниковых пластин, и может быть использовано в электронной промышленности. Целью изобретения является повышение точности отрезаемых пластин. Цель достигается тем, что одна пара направляющих, на которьж установлены шпиндель и вакуумный стол, выполнена цилиндрической, а другая - плоской, причем опоры вакуумного стола, взаимодействующие с плоскими направляющими, выполнены в виде аэростатических подпятников с приспособлением для регулировки положения вакуумного стола относительно оси шпинделя. 4 ил. 00 ел (Х со ;о

фиг.г

фие.З

Редактор А.Долинич

Составитель В.Моисеев

Техред Л.Сердюкова Корректор А.Зимокосов

Заказ 6105/18Тираж 325Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

. ---i- - - -- - - ,.- -. - - -- - - - - - - -

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4

79