РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ Советский патент 1972 года по МПК H01C7/06 

Изобретение относится к области технологии радиоэлементов.

Известен резистивный материал для тонкопленочных резисторов на основе металла, карбида металла и газа.

Цель изобретения - уменьшение ТКС материала, расширение диапазона номиналов резисторов и повышение надежности их работы.

Поставленная цель достигается тем, что материал состоит из смеси или твердого раствора тантала, карбида тантала и несвязанного азота при следующем соотношении исходных компонентов, вес. %:

Карбид тантала58-94

Тантал3-40

Несвязанный азот2- 3

Ниже приводится пример образования резистивной пленки из предлагаемого материа.ла на диэлектрическом основании.

Образование резистивной пленки на диэлектрическом основании из керамики, стекла, ситалла и других материалов осуществляется путем плазменного напыления тантала (3- 40 вес. %) в среде из смеси, например, азота и углеводородов. Термическое плазменное пыление тантала ведется на подогретую до температуры 400-700°С подложку, при этом наряду с танталом осаждается карбид тантала (58-94 вес. %), образованный в газовой фазе за счет реакции паров тантала с углеродсодержащими парами.

Осуществление процесса в азотосодержащей среде позволяет также насыщать покрытие несвязанным азотом (2-3 вес. %), изменяющим в нужную сторону электросопротивление покрытия.

Образование резистивной пленки с малым ТКС и с широким диапазоном номиналов возможно благодаря малому ТКС карбида тантала (от 10-4 до IQ-c град-i) и высокому удельному сопротивлению, мало меняющемуся в диапазоне температур 20-1000°С. Содержание резистивным покрытием несвязанного растворенного в тантале азота также позволяет уменьшить ТКС и расщирить диапазон номиналов резисторов.

Предмет изобретения

Резистивный материал для тонкопленочных резисторов на основе металла, карбида металла и газа, отличающийся тем, что, с целью уменьщения температурного коэффициента сопротивления, расширения диапазона номиналов резисторов и повышения надежности их работы, указанный материал состоит из смеси или твердого раствора тантала, карбида тантала и несвязанного азота при следующем соотношении исходных компонентов, вес. %: