ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ КОНДЕНСАТОР ПОСТОЯННОЙ ЕМКОСТИ Советский патент 1972 года по МПК H01G4/20 

Изобретение относится к топкопле.ночным конденсаторам, используемым в электронной технике лри производстве гибридных интегральных схем.

Известны тонкопленочные конденсаторы системы металл-диэлектрнк металл, в которых в качестве диэлектрика используют фториды кальния, магния и других элементов II группы периодической системы элементов. Такие конденсаторы имеют невысокую удельную емкость, низкую электрическую прочность и сравнительно большие диэлектрические потери.

В целях повышения удельной емкости и электрической ирочности и снижения диэлеКтрических потерь в предлагаемом конденсаторе в качестве материала диэлектрика используют двойные бораты редкоземельных элементов и элементы II группы периодической системы.

Пр-имер 1. Для изготовления тонкопленоч гых конденсаторов в качестве диэлектрика ислользуют двойной борат лантана с кальцием Ьа2Саз(ВОз)4 стехиометрического состава, получеиный методом высокотемпературного спекания или из расплава.

стивного таиталового (вольфрамового) испарителя при темнературе испарения 1200- 1400° С и температуре подложки 150° С.

Полученный тонкопленочный конденсатор с алюминиевыми электродами имеет при толщино диэлектрика 3000-4000 А удельную емкость 27000-30000 пф/см, тангенс диэлектрических потерь 0,009-0,01 и пробивное напряжение 100 и.

П р и М ер 2. Для изготовлеиия тонкопленочного конденсатора в качестве диэлектрика используют двойной борат лантана со стро)1цием 11а25гз(ВОз)4 стехиометрического состава, нолученный методом высокотемнературного спекания или из расплава.

Напыление диэлектрического слоя из двойного бората лантана со cTpoFuuieM нропзводят KaFv в нримере 1. Полученный тонкопленочный конденсатор с алюминиевыми электродами

имеет при толиип е диэлектрика 1100 А удельиую емкость 70000 пф/см-, тангенс диэлектрических нотерь 0,003 и пробивное напряжение 25 в.

Таким образом, иредлагаемый конденсатор имеет сравнительно высокую удельную емкость (до 70000 пф/см-) и существенно меньший тангенс диэлектрических иотерь (до 0,003). 3 Предмет изобретения Тонколленочный конденсатор постоянной емкости, выполненный па основе системы металл-диэлектрик-металл, отличающийся тем, 5 что, с целью повышения удельной емкости и 4 электрической прочности и снижения диэлектрических иотерь, в качестве материала диэлектрика используют двойные бораты редкоземельиых элементов с ялементами II грунны периодической системы,