СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТИТАНОКЕРАМИЧЕСКОГО ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА Советский патент 1973 года по МПК H01J9/04 

1

Изобретепие относится к области технологии изготовления электровакуумных приборов, в частности, к способу активировки оксидного катода титанокерамических приборов.

Известно, что в таких приборах активировка катода производится частично в процессе пайки-откачки прибора и в процессе тренировки в статическом или импульсном режимах при подаче напряжений па электроды. Для улучшения эмиссионной активности катода необходима восстановительная атмосфера остаточных газов, среди которых наибольшее влияние на восстановление окислов бария оказывает водород, однако его равновесное давление определяется температурой титановых деталей, содержащих водород в его «сходной концентрации. Для получения требуемого давления водорода в приборе прибегают к различным технологическим приемам: пайке в водороде и напуску водорода. Особенностью титанокерамических приборов является наличие большого количества титановых деталей, которые в процессе пайки приборов сами являются «поставщиками водорода во впутренний объем, в результате чего в приборе создается определенное давление водорода (примерно ЫО мм рт. ст.). В момент охлаждения титановые детали начинают работать в качестве газопоглотителя и концентрация водорода в них возрастает, а давление водорода

над ними (в приборе) резко снижается. В процессе тренировки давление оказывается недостаточным для получения высокой эмиссионной активности катода. Это объясняется тем,

что температура оболочки в период тренировки не поднимается выше 200-250° С, отдельные титановые детали практически остаются холодными и не выделяют -водорода во внутренний объем прибора. Возможна активировка

катода за счет подогрева нераспыляемых газопоглотителей из активных металлов. Однако, при нагреве только отдельных активных элементов прибора происходит лишь перераспределение водорода из одних (горячих) деталей

в другие (холодные).

Цель изобретения - повышение эмиссионных свойств катода путем увеличения давления водорода во внутриламповой атмосфере. Поставленная цель достигается тем, что прибор после тренировки подвергается нагреву на воздухе или в вакууме при температуре 400-550° С в течение времени, необходимого д,ля получения более высокого уровня тока эмиссии катода.

Процесс нагрева титано-керамических ламп осуществляется в обычных муфельных или вакуумных печах. Оттренированные лампы помещаются на подставке в печи, в зону с наиболее постояпной температурой. В результате пропсходит равномерный нагрев всех элементов оболочки лампы и внутриламповои арматуры. При этом все титановые детали оболочки достигают одинаковой температуры (примерно 500° С) и начинают выделять водород во внутриламповый объем. Повышение концентрации водорода внутри прибора приводит к росту эмиссионной способности катода. Время прогрева ламп определяется по уровню эмиссии. Ток эмиссии катода измеряется непосредственно в процессе нагрева или после него.

Эксперименты показали, что введение операции нагрева ламп при температуре 400-

550° С привело к увеличению уровня эмиссии катода с 0,8 а/см до 1,5-2 а/см-.

Предмет изобретения

Способ изготовления титанокерамического электровакуумного прибора с оксидным катодом, включающим тренировку прибора, отличающийся тем, что, с целью повышения эмиссионной способности катода, после тренировки прибор прогревают при температуре 400-550° С до момента установления максимального уровня эмиссии катода.