Электродуговой испаритель металлов Советский патент 1979 года по МПК C23C13/12 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме. Известен электродуговой испарите металлов, содержеиций катод, анод и поджигающее приспособление. Однако данный испаритель не обес печивает нанесение покрытий разной толщины на различных участках покры ваемой поверхности. С целью обеспечения нанесения по крытий разной толщины на различных участках покрываемой поверхности в предлагаемом устройстве с обратной стороны рабочей поверхности катода расположен магнит, снабженный устро ством для его перемещения. На чертеже представлен предлагае мый испаритель, общий вид. Испаритель состоит из катода I, анода 2, являющегося внутренней поверхностью вакуумной камеры, поджигающего приспособления 3 и магнита 4, расположенного с обратной сторон рабочей поверхности катода. Магнит 4 снабжен устройством 5 для его пер метения. Устройство работает следующим об разом. При низком давлении остаточных г зов в вакуумной камере (ниже 1-10 мм рт.ст).зажигают дугу. Зажигание дуги производят кратковременным прикосновением поджигающего приспособления 3, электрически связаннслм с анодом, к поверхности катода 1. Кроме того, дуга горит в парах металла катода. Так как катодное пятно вакуумной ДУГИ стремится находиться на участках катода с максимальной индукцией магнитного поля, то оно перемещается в район катода, находящийся под полюсом магнита. Распыление катода по любому заданному закону и получение покрытий заданной толщины на покрываемой поверхности 6 осуществляется соответствующим перемещением магнита.Вместе с перемещением максимума магнитного поля на рабочей поверхностикатода перемещается и катодное пятно. Формула изобретения Электродуговой испаритель метал- . лов, содержащий катод, анод и поджигающее приспособление, о т л к ч а ) щ и и с я тем, что, с целью получения покрытий разной толщины на различных участках покрываемой поверхности, с обратной стороны рабочей поверхности катода расположен магнит, снабженный устройством для его перемещении.

Откачка

на вану1/м