ВСЕСОЮЗНАЯH^TrilT'"^ •••%/'>&;.' г LJ&T nfiTtrlibU-it:X;ib-r S.^'; Советский патент 1973 года по МПК H01L21/306 

Описание патента на изобретение SU368777A1

СПОСОБ ПОДГОТОВКИ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПЕРЕД ХИМИЧЕСКИМ НИКЕЛИРОВАНИЕМ

Похожие патенты SU368777A1

название год авторы номер документа
Способ химического никелирования поверхности металломатричного композиционного материала алюминий-карбид кремния 2022
  • Ревин Евгений Александрович
  • Трошин Игорь Юрьевич
  • Лихачева Ирина Евгеньевна
  • Курдогло Елена Дмитриевна
  • Леонтьев Николай Александрович
  • Тихомиров Павел Львович
RU2792669C1
СПОСОБ ХИМИЧЕСКОГО НИКЕЛИРОВАНИЯ И РАСТВОР ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2013
  • Каблов Евгений Николаевич
  • Щетанов Борис Владимирович
  • Ефимочкин Иван Юрьевич
  • Севостьянов Николай Владимирович
  • Мурашева Виктория Владимировна
  • Вдовин Сергей Михайлович
  • Нищев Константин Николаевич
RU2544319C1
СПОСОБ ХИМИЧЕСКОГО НИКЕЛИРОВАНИЯ АЛЮМИНИЕВЫХ КОНТАКТНЫХ ПЛОЩАДОК ПЕРЕД ИММЕРСИОННЫМ ЗОЛОЧЕНИЕМ 2015
  • Соцкая Надежда Васильевна
  • Сапронова Людмила Викторовна
  • Герасименко Юлия Владимировна
  • Хорольская Светлана Владимировна
  • Зайцев Сергей Витальевич
  • Лобанов Михаил Викторович
RU2605737C2
Раствор для подготовки поверхности алюминия и его сплавов перед химическим никелированием 1982
  • Лабунов Владимир Архипович
  • Курмашев Виктор Иванович
  • Гурский Михаил Семенович
  • Грицай Степан Петрович
  • Тучковский Александр Константинович
  • Безелянский Владимир Михайлович
SU1147767A1
Способ химического никелирования заготовок стоматологических боров 2022
  • Могучева Анна Алексеевна
  • Тагиров Дамир Вагизович
  • Половнева Лилия Васильевна
  • Лудан Марина Юрьевна
  • Чуев Владимир Петрович
  • Казакова Валентина Сергеевна
  • Мишина Наталья Сергеевна
  • Бузов Андрей Анатольевич
RU2805729C1
Способ нанесения электропроводного защитного покрытия на алюминиевые сплавы 2023
  • Дуюнова Виктория Александровна
  • Фомина Марина Александровна
  • Демин Семен Анатольевич
RU2817277C1
Способ химического никелирования неметаллических материалов 1988
  • Сиукаев Николай Васильевич
  • Лагкуев Джабраил Хушинович
  • Фидаров Владислав Ахсарович
  • Тебиев Эльбрус Маирбекович
SU1694694A1
Способ нанесения никелевых покрытий на алюминиевые сплавы 2017
  • Девяткина Татьяна Игоревна
  • Лучнева Светлана Игоревна
  • Борисова Александра Евгеньевна
  • Рогожин Вячеслав Вячеславович
  • Михаленко Михаил Григорьевич
  • Ивашкин Евгений Геннадьевич
RU2661695C1
СПОСОБ СОЗДАНИЯ АНТИДИФФУЗИОННОГО БАРЬЕРА НА ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН ИЗ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ 2005
  • Освенский Владимир Борисович
  • Малькова Нина Владимировна
  • Астахов Михаил Васильевич
  • Бублик Владимир Тимофеевич
  • Табачкова Наталья Юрьевна
RU2293399C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СБОРНЫХ ИЗДЕЛИЙ И СПОСОБ ПОДГОТОВКИ СБОРНЫХ ИЗДЕЛИЙ ПЕРЕД НАНЕСЕНИЕМ ПОКРЫТИЯ НА ИХ ПОВЕРХНОСТИ 2011
  • Белякова Татьяна Дмитриевна
  • Смирнова Ольга Аркадьевна
  • Михнёв Михаил Михайлович
RU2460162C1

Реферат патента 1973 года ВСЕСОЮЗНАЯH^TrilT'"^ •••%/'>&;.' г LJ&T nfiTtrlibU-it:X;ib-r S.^';

Формула изобретения SU 368 777 A1

1

Изобретение относится к области нанесения металлических покрытий химическим способом, в частности к способам подготовки покрываемой поверхности.

Известен способ подготовки поверхности кремния перед химическим никелированием путем травления в концентрированном растворе плавиковой кислоты.

Предложенный способ отличается от известного введением дополнительной операции активирования кремниевой пластины в растворе гидроокиси аммония, что улучшает сцепление покрытия с основой.

Необходимость такой операции обусловлена тем, что часто на поверхности кремниевых пластин присутствуют одновременно фосфорои боросиликаты, которые стравливаются в плавиковой кислоте с различной скоростью, и после окончания процесса травления поверхность кремния оказывается пассивной для нанесения на нее никелевого покрытия.

После травления пластины в концентрированном растворе плавиковой кислоты при комнатной температуре в течение 12 мин ее

промывают и погружают на 4-6 мин в горячий раствор гидроокиси аммония с температурой 80-90°С и рН 8-10. Обработанную пластину высушивают на воздухе и затем повторно опускают на 3 мин в концентрированный раствор плавиковой кислоты для удаления окислов, которые могут образоваться на поверхности кремния при сушке и обработке в аммиаке. При химическом никелировании кремниевой пластины, активированной в соответствии с предложенным способом, осаждается высококачественное никелевое покрытие, прочно сцепленное с основой.

Предмет изобретения

Способ подготовки поверхности кремния перед химическим никелированием путем травления в плавиковой кислоте, отличающийся тем, что, с целью активации поверхности для улучшения сцепления покрытия с основой, осушествляют последующую обработку кремния в водном растворе гидроокиси аммония с рН 8-10 при температуре 80-90°С в течение 4-6 мин.

SU 368 777 A1

Авторы

Иностранна Фирма Вестерн Электрик Компани Инкорпорейтед Соединенные Штаты Америки

Даты

1973-01-01Публикация